Muhtasari wa Mipako ya Vacuum Cathode Arc Ion

Arc ion ya cathode ya utupucorating inafupishwa kama utupu arccokupiga. Ikiwa vyanzo viwili au zaidi vya uvukizi wa safu ya utupu (inayojulikana kama vyanzo vya arc) vinatumiwa, inaitwa multi arc ion.coting au arc nyingicokupiga. Ni teknolojia ya mipako ya ioni ya utupu ambayo hutumia utokwaji wa safu ya utupu kwa vyanzo vya uvukizi. Tofauti na arc ya elektroni ya moto ya kutokwa kwa cathode ya mashimo, fomu yake ya arc ni malezi ya matangazo ya arc ya cathode kwenye uso wa cathode ya baridi.

Tabia za arc ion ya cathode ya utupucorating ni:

(1) Chanzo cha uvukizi ni shabaha thabiti ya cathode, ambayo hutoa plasma moja kwa moja kutoka kwa chanzo kinacholengwa cha cathode bila hitaji la bwawa la kuyeyuka. Chanzo cha lengo la arc kinaweza kupangwa kwa mwelekeo wowote na vyanzo vingi ili kuhakikisha mipako sare.

(2) Muundo wa vifaa ni rahisi, bila hitaji la kufanya kazi kwa gesi au njia za ionization. Chanzo cha lengo la arc sio tu chanzo cha uvukizi kwa nyenzo za cathode, lakini pia chanzo cha ion; Wakati wa uwekaji tendaji, ni gesi tendaji pekee iliyopo, na angahewa inadhibitiwa kwa kutumia udhibiti rahisi kamili wa shinikizo.

(3) Kiwango cha ionization ni cha juu, kwa ujumla hufikia 60% ~ 80%, na kiwango cha utuaji ni cha juu.

(4) Nishati ya ioni ya tukio ni kubwa, na nguvu ya kuunganisha ya filamu/substrate ya filamu iliyowekwa ni nzuri.

(5) Kutumia usambazaji wa umeme wa chini kwa uendeshaji salama.

(6) Inaweza kuweka filamu za chuma, filamu za aloi, kuguswa na kuunganisha filamu mbalimbali za kiwanja (misombo ya amonia, carbides, oksidi), na hata kuunganisha filamu za DLC, filamu za CN, nk. Hasara yake ni kwamba wakati wa utuaji, matone madogo ya kioevu hunyunyizwa kutoka kwa uso unaolengwa, ambao hujilimbikiza kwenye safu ya filamu iliyofunikwa. Hivi sasa, njia nyingi za ufanisi zimejifunza ili kupunguza na kuondokana na matone haya madogo.

Arc ion ya utupucoteknolojia ya kuangazia imetumika sana kupaka mipako ya kinga ngumu sana kwa zana na ukungu. Mifumo ya filamu ni pamoja na TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, n.k. Bidhaa za mipako ni pamoja na zana, ukungu, n.k. Kwa upande wa kuiga dhahabu na rangi mipako ya mapambo ya kinga, mifumo ya filamu ni pamoja na TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ONC mifumo ya Rangi, ZrNNC, T-ONC ya rangi na kadhalika. nyeusi, nyeusi, zambarau, kahawia, bluu Kijani kijivu, nk.

Ioni nyingi za arccoKuweka rangi kuna aina mbalimbali za matumizi na utendaji dhabiti, hasa katika kupaka tabaka za filamu ngumu za mapambo na zinazostahimili kuvaa kwenye nyuso za nyenzo kama vile zana za kukata, ukungu na sahani za chuma cha pua.