Vad är en beläggning för resistansavdunstningskällor?

Beläggning med motståndsindunstningskäll är en grundläggande vakuumindunstningsbeläggningsmetod. "Industning" avser en tunnfilmsberedningsmetod där beläggningsmaterialet i vakuumkammaren upphettas och indunstas, så att materialatomerna eller molekylerna förångas och släpps ut från ytan, vilket bildar ett ångflödesfenomen, som infaller på substratets eller substratets yta och slutligen kondenseras för att bilda en fast film.

Den så kallade beläggningsmetoden för resistansförångningskällor går ut på att använda tantal, molybden, volfram och andra metaller med hög smältpunkt för att skapa en lämplig form av förångningskällan. Källan laddas med material som ska förångas, luften strömmar igenom och de förångade materialen värms upp och förångas direkt, eller så placeras materialen som ska förångas i aluminiumoxid, berylliumoxid och andra deglar för indirekt uppvärmning och förångning. Detta är resistansuppvärmningsförångningsmetoden.

DevakuumindunstningsbeläggningsmaskinUppvärmning och förångning med hjälp av en motståndsvärmare har fördelarna med enkel struktur, låg kostnad och tillförlitlig användning. Den kan användas för förångningsbeläggning av material med låg smältpunkt, särskilt för massproduktion med låga krav på beläggningskvalitet. Hittills finns det fortfarande ett stort antal beläggningsprocesser med motståndsvärme och förångning som används vid tillverkning av aluminiumförsedda speglar.

Nackdelarna med avdunstningsbeläggningsmetoden för motståndsavdunstningskällor är att den maximala temperaturen som kan uppnås genom uppvärmning är begränsad, och värmarens livslängd är också kort. För att förbättra livslängden på motståndsavdunstningskällorna har utrustningsfabriker under senare år antagit ledande keramiska material syntetiserat av bornitrid med lång livslängd som avdunstningskälla. Enligt en japansk patentrapport kan man använda material som består av 20%~30% bornitrid och eldfasta material som kan smältas samman med detta för att tillverka avdunstningskällan (degel), och belägga dess yta med ett lager av zirkonium innehållande 62%~82%, och resten är zirkonium-kisellegeringsmaterial.