Vakuumkatodbågjoncoering förkortas som vakuumbågecoOm två eller flera vakuumbågsförångningskällor (kallade bågkällor) används kallas det multibågjonförångning.coning eller multibågecoDet är en vakuumjonbeläggningsteknik som använder vakuumbågurladdning för avdunstningskällor. Till skillnad från den heta elektronbågen vid urladdning av ihålig katod, är dess bågform bildandet av katodbågsfläckar på ytan av den kalla katoden.
Egenskaperna hos vakuumkatodbågjoncoatt äta är:
(1) Avdunstningskällan är ett fast katodmål, som direkt genererar plasma från katodmålkällan utan behov av en smältbassäng. Bågmålkällan kan anordnas i valfri riktning och flera källor för att säkerställa en jämn beläggning.
(2) Utrustningens struktur är relativt enkel, utan behov av arbetsgas eller hjälpjoniseringsmetoder. Bågkällan är inte bara en avdunstningskälla för katodmaterialet, utan också en jonkälla; Under reaktiv deponering existerar endast reaktiv gas, och atmosfären styrs med hjälp av en enkel fulltrycksreglering.
(3) Joniseringshastigheten är hög, vanligtvis uppe i 60 % ~ 80 %, och avsättningshastigheten är hög.
(4) Den infallande jonenergin är hög och den avsatta filmens bindningskraft mellan film och substrat är god.
(5) Användning av lågspänningsströmförsörjning för säker drift.
(6) Den kan avsätta metallfilmer, legeringsfilmer, reagera och syntetisera olika sammansatta filmer (ammoniakföreningar, karbider, oxider) och till och med syntetisera DLC-filmer, CN-filmer etc. Nackdelen är att små vätskedroppar stänks från målytan under avsättningen, vilka kondenserar i det belagda filmskiktet och ökar filmskiktets grovhet. För närvarande har många effektiva metoder studerats för att minska och eliminera dessa mikrodroppar.
VakuumbågjoncoBeläggningsteknik har använts i stor utsträckning för att belägga superhårda skyddande beläggningar för verktyg och formar. Filmsystem inkluderar TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, etc. Beläggningsprodukter inkluderar verktyg, formar, etc. När det gäller imiterat guld och färgdekorativa skyddande beläggningar inkluderar filmsystem TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, etc. Färgfilmsystem inkluderar pistolsvart, svart, lila, brun, blågrön grå, etc.
MultibågjoncoAtt belägga dekorativa och slitstarka hårdfilmsskikt på materialytor som skärverktyg, formar och rostfria stålplattor är mycket praktiskt användbara, särskilt för att belägga dekorativa och slitstarka hårdfilmsskikt.
Publiceringstid: 17 augusti 2023