Palapis sumber évaporasi résistansi mangrupikeun metode palapis évaporasi vakum dasar. "Evaporasi" nujul kana metoda persiapan pilem ipis nu bahan palapis dina chamber vakum dipanaskeun sarta ngejat, ku kituna atom bahan atawa molekul vaporize sarta kabur ti beungeut cai, ngabentuk fenomena aliran uap, kajadian dina beungeut substrat atawa substrat, sarta tungtungna condensed pikeun ngabentuk pilem padet.
Nu disebut lalawanan évaporasi sumber palapis metoda nyaeta ngagunakeun tantalum, molybdenum, tungsten jeung logam titik lebur tinggi séjén pikeun nyieun hiji bentuk luyu tina sumber évaporasi, nu geus dieusian ku bahan pikeun ngejat, hayu aliran hawa ngaliwatan, langsung panas sarta menguap bahan ngejat, atawa nunda bahan nu bisa ngejat kana alumina jeung hémoglobin hépatik jeung évaporasi séjén. Ieu mangrupikeun metode évaporasi pemanasan résistansi.
Themesin palapis évaporasi vakumdipanaskeun sarta ngejat ku manaskeun lalawanan boga kaunggulan struktur basajan, béaya rendah sarta pamakéan dipercaya. Ieu bisa dipaké pikeun palapis évaporasi bahan kalawan titik lebur low, utamana pikeun produksi masal jeung syarat low pikeun kualitas palapis. Sajauh ieu, masih aya sajumlah ageung prosés palapis pemanasan lalawanan sareng évaporasi anu dianggo dina produksi kaca spion aluminized.
Kalemahan metode palapis évaporasi sumber évaporasi nyaéta suhu maksimum anu tiasa dihontal ku pemanasan terbatas, sareng umur jasa pamanas ogé pondok. Dina taun anyar, dina raraga ngaronjatkeun kahirupan sumber évaporasi lalawanan, pabrik parabot geus diadopsi bahan keramik conductive disintésis ku boron nitride kalawan umur panjang salaku sumber évaporasi. Numutkeun laporan patén Jepang, éta bisa ngagunakeun bahan diwangun ku 20% ~ 30% boron nitride jeung bahan refractory nu bisa ngahiji jeung eta pikeun nyieun sumber évaporasi (crucible), sarta jaket beungeutna ku lapisan zirconium ngandung 62% ~ 82%, sarta sésana mangrupa bahan alloy zirconium-silikon.
waktos pos: Apr-22-2023