Ts'ebetsong ea ho roala ka sputtering, metsoako e ka sebelisoa e le sepheo sa ho lokisa lifilimi tse entsoeng ka lik'hemik'hale. Leha ho le joalo, sebopeho sa filimi e hlahisitsoeng ka mor'a ho hlajoa ha thepa e reretsoeng hangata e kheloha haholo sebopeho sa pele sa thepa e reretsoeng, ka hona ha e finyelle litlhoko tsa moralo oa pele. Haeba ho sebelisoa sepheo se hloekileng sa tšepe, khase e hlokahalang e sebetsang (mohlala, oksijene ha ho etsoa lifilimi tsa oxide) e kopane ka hloko ka khase e sebetsang (ho ntša), e le hore e sebetsane le lik'hemik'hale ka thepa e reretsoeng ho hlahisa filimi e tšesaane e ka laoloang ho latela sebopeho le litšobotsi tsa eona. Mokhoa ona hangata o bitsoa "reaction sputtering".
Joalokaha ho boletsoe pejana, RF sputtering e ka sebelisoa ho beha lifilimi tsa dielectric le lifilimi tse fapaneng tse kopaneng. Leha ho le joalo, e le hore u lokise filimi "e hloekileng", ho hlokahala hore u be le sepheo se "hloekileng", se nang le oxide e phahameng, nitride, carbide, kapa phofo e 'ngoe ea motsoako. Ho sebetsana le li-powders tsena ka sepheo sa sebopeho se itseng ho hloka ho eketsoa ha li-additives tse hlokahalang bakeng sa ho bopa kapa ho etsa sintering, e leng se fellang ka ho fokotseha ho hoholo ha bohloeki ba sepheo le filimi e hlahisoang. Leha ho le joalo, ho sputtering e tsitsitseng, kaha tšepe e hloekileng le likhase tse phahameng li ka sebelisoa, maemo a loketseng a fanoa bakeng sa ho lokisetsa lifilimi tse hloekileng. Reactive sputtering e fumane tlhokomelo e ntseng e eketseha lilemong tsa morao tjena 'me e fetohile mokhoa o ka sehloohong oa ho fokotsa lifilimi tse tšesaane tsa metsoako e sa tšoaneng e sebetsang. E 'nile ea sebelisoa haholo ha ho etsoa metsoako ea IV, I- le IV-V, refractory semiconductors, le mefuta e fapaneng ea oxides, joalo ka tšebeliso ea polycrystalline Si le CH./Ar motsoako oa likhase ho thunya pula ea lifilimi tse tšesaane tsa SiC, Ti target le N/Ar ho lokisetsa lifilimi tse thata tsa TiN, Ta le O/Ar ho lokisetsa TaO; dielectric tšesaane lifilimi, Fe le O, / Ar ho lokisetsa -FezO; -FezO. lifilimi tsa ho rekota, lifilimi tsa AIN tsa piezoelectric tse nang le A1 le N/Ar, lifilimi tse khethang tsa A1-CO tse nang le AI le CO/Ar, le lifilimi tsa YBaCuO-superconducting tse nang le Y-Ba-Cu le O/Ar, har'a tse ling.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Jan-18-2024