Vacuum cathode arc ioncoting e khutsufatsoe joalo ka vacuum arccoho lla. Haeba mehloli e 'meli kapa ho feta ea vacuum arc evaporation (e bitsoang mehloli ea arc) e sebelisoa, e bitsoa multi arc ion.coho tsubella kapa ho arc tse ngatacoho lla. Ke theknoloji ea ho roala ion ea vacuum e sebelisang vacuum arc discharge bakeng sa mehloli ea mouoane. Ho fapana le hot electron arc ea hollow cathode discharge, sebopeho sa eona sa arc ke sebopeho sa matheba a cathode arc holim'a cathode e batang.
Litšobotsi tsa vacuum cathode arc ioncolijo ke:
(1) Mohloli oa mouoane ke sepheo se tiileng sa cathode, se hlahisang plasma ka ho toba ho tloha mohloling oa sepheo sa cathode ntle le tlhokahalo ea letamo le qhibilihisitsoeng. Mohloli oa sepheo sa arc o ka hlophisoa ka tsela efe kapa efe le mehloli e mengata ho etsa bonnete ba ho roala ka mokhoa o ts'oanang.
(2) Sebopeho sa thepa se batla se le bonolo, ntle le tlhokahalo ea ho sebetsa ha khase kapa mekhoa e thusang ea ionization. Mohloli oa sepheo sa arc hase feela mohloli oa mouoane bakeng sa thepa ea cathode, empa hape ke mohloli oa ion; Nakong ea ts'ebetso e sebetsang, ho na le khase e sebetsang feela, 'me sepakapaka se laoloa ho sebelisoa taolo e bonolo e felletseng ea khatello.
(3) Sekhahla sa ionization se phahame, ka kakaretso se fihla ho 60% ~ 80%, 'me sekhahla sa deposition se phahame.
(4) Matla a ion a ketsahalo a phahame, 'me filimi / substrate bonding force ea filimi e behiloeng e ntle.
(5) Ho sebelisa phepelo ea motlakase e tlase bakeng sa ts'ebetso e bolokehileng.
(6) E ka kenya lifilimi tsa tšepe, lifilimi tsa alloy, ea etsa le ho kopanya lifilimi tse fapaneng tsa motsoako (ammonia metsoako, carbides, oxides), esita le ho kopanya lifilimi tsa DLC, lifilimi tsa CN, joalo-joalo. Hajoale, mekhoa e mengata e sebetsang e ithutoe ho fokotsa le ho felisa marotholi ana a manyane.
Vacuum arc ioncoTheknoloji ea ho roala e 'nile ea sebelisoa haholo ho koahela liaparo tse sireletsang tse thata haholo bakeng sa lisebelisoa le hlobo. Mekhoa ea lifilimi e kenyelletsa TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, joalo-joalo Lihlahisoa tsa ho roala li kenyelletsa lisebelisoa, li-molds, joalo-joalo Mabapi le ho etsisa khauta le mebala e sireletsang mekhabiso e sireletsang, litsamaiso tsa lifilimi li kenyelletsa TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ONC, tsamaiso ea mebala ea ZrN, ZrN, joalo-joalo. e ntšo, e ntšo, e pherese, e sootho, e putsoa Botala bo boputsoa, jj.
Li-arc ion tse ngatacoting e na le mefuta e mengata ea likopo le ts'ebetso e matla, haholo-holo ka ho roala likhalase tse thata tse khabisitsoeng le tse sa sebetseng holim'a lisebelisoa tse kang lisebelisoa tsa ho itšeha, liforomo le lipoleiti tsa tšepe tse sa hloekang.
Nako ea poso: Aug-17-2023