Шта је премаз отпорног испаравања?

Премазивање отпорним испаравањем је основна метода вакуумског испаравања. „Испаравање“ се односи на метод припреме танког филма у којем се материјал премаза у вакуумској комори загрева и испарава, тако да атоми или молекули материјала испаравају и излазе са површине, формирајући феномен тока паре, падајући на површину подлоге или супстрата, и коначно кондензујући се у чврсти филм.

Такозвана метода премазивања извора отпорног испаравања је употреба тантала, молибдена, волфрама и других метала са високом тачком топљења да би се направио одговарајући облик извора испаравања, који је напуњен материјалима који треба испарити, пушта ваздух да пролази кроз њега, директно загрева и испарава испарене материјале, или ставља материјале који треба испарити у посуде од алуминијума, берилијум оксида и других лончића за индиректно загревање и испаравање. Ово је метода испаравања отпорним загревањем.

Theмашина за вакуумско испаравањеЗагревање и испаравање помоћу отпорног грејача има предности једноставне структуре, ниске цене и поуздане употребе. Може се користити за испаравање материјала са ниском тачком топљења, посебно за масовну производњу са ниским захтевима за квалитет премаза. До сада постоји велики број процеса премазивања отпорним загревањем и испаравањем који се користе у производњи алуминизираних огледала.

Недостаци методе премазивања испаравањем извора отпорног испаравања су ограничена максимална температура која се може достићи загревањем, а век трајања грејача је такође кратак. Последњих година, како би се побољшао век трајања извора отпорног испаравања, фабрика опреме је усвојила проводни керамички материјал синтетисан боровим нитридом са дугим веком трајања као извор испаравања. Према јапанском патентном извештају, могу се користити материјали састављени од 20%~30% боровог нитрида и ватросталних материјала који се могу спојити са њим да би се направио извор испаравања (лончић), и његова површина се премаже слојем цирконијума који садржи 62%~82%, а остатак су материјали од легуре цирконијума и силицијума.