Вакуумска катода лук јонcoАтинг се скраћено назива вакуумски лукcoАко се користе два или више извора вакуумског лучног испаравања (који се називају извори лука), то се назива вишеструко лучно јонскоcoање или више луковаcoТо је технологија вакуумског јонског премазивања која користи вакуумско лучно пражњење за изворе испаравања. За разлику од врућег електронског лука код шупље катодне пражњења, његов лучни облик је формирање катодних лучних тачака на површини хладне катоде.
Карактеристике вакуумског катодног лука ионскогcoједу су:
(1) Извор испаравања је чврста катодна мета, која директно генерише плазму из извора катодне мете без потребе за растопљеним базеном. Извор лучне мете може се поставити у било ком смеру и са више извора како би се осигурало равномерно превлачивање.
(2) Структура опреме је релативно једноставна, без потребе за радним гасом или помоћним методама јонизације. Извор лучног мете није само извор испаравања за катодни материјал, већ и извор јона; Током реактивног таложења постоји само реактивни гас, а атмосфера се контролише једноставном контролом пуног притиска.
(3) Стопа јонизације је висока, генерално достиже 60%~80%, а стопа таложења је висока.
(4) Енергија упадних јона је висока, а сила везивања филма/подлоге наталоженог филма је добра.
(5) Коришћење нисконапонског напајања за безбедан рад.
(6) Може да наноси металне филмове, легуре, реагује и синтетише различите једињене филмове (амонијачна једињења, карбиде, оксиде), па чак и да синтетише DLC филмове, CN филмове итд. Његов недостатак је што се током наношења ситне капљице течности прскају са површине циља, које се кондензују у премазаном слоју филма и повећавају храпавост слоја филма. Тренутно је проучено много ефикасних метода за смањење и елиминисање ових микро капљица.
Вакуумски лук јонcoТехнологија премазивања се широко користи за наношење супертврдих заштитних премаза за алате и калупе. Филмски системи укључују TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, итд. Производи за премазивање укључују алате, калупе итд. Што се тиче имитације злата и декоративних заштитних премаза у боји, филмски системи укључују TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, итд. Системи обојених филмова укључују црну, црну, љубичасту, браон, плаво-зелено-сиву итд.
Вишеструки лук јонcoАтинг има широк спектар примене и велику практичност, посебно у наношењу декоративних и отпорних на хабање тврдих филмских слојева на површинама материјала као што су алати за сечење, калупи и плоче од нерђајућег челика.
Време објаве: 17. август 2023.