I le fa'agasologa o le fa'apipi'iina, e mafai ona fa'aogaina mea fa'apipi'i e fai ma taula'iga mo le tapenaga o ata fa'amea fa'ameamea. Ae ui i lea, o le tuufaatasiga o le ata na gaosia pe a uma le sputtering o le mea autu e masani ona matua ese mai le uluai tuufaatasiga o mea autu, ma o lea e le ausia ai manaoga o le uluai mamanu. Afai e faʻaaogaina se faʻaoga uʻamea mama, o le kasa malosi e manaʻomia (faʻataʻitaʻiga, okesene pe a saunia ata o le oxide) e faʻafefiloi ma le iloa i totonu o le galue (faʻasalalau) kesi, ina ia faʻafefeteina ma le mea faʻatatau e maua ai se ata manifinifi e mafai ona pulea i le tulaga o lona tuufaatasiga ma uiga. O lenei metotia e masani ona taʻua o le "react sputtering".
E pei ona taʻua muamua, e mafai ona faʻaogaina le RF sputtering e teu ai ata tifaga ma ata faʻafefiloi eseese. Ae ui i lea, ina ia mafai ona saunia se ata tifaga "mama", e tatau ona i ai se "mama" sini, se maualuga mama o le oxide, nitride, carbide, poʻo isi paʻu faʻafefiloi. O le faʻaogaina o nei paʻu i totonu o se faʻamoemoega o se foliga patino e manaʻomia ai le faʻaopoopoga o mea faʻaopoopo e manaʻomia mo le faʻapipiʻiina poʻo le sintering, lea e iʻu ai i se faʻaititia tele o le mama o le sini ma le ata e maua ai. I le sputtering reactive, peitaʻi, talu ai e mafai ona faʻaogaina metala mama maualuga ma kasa maualuga, e tuʻuina atu tulaga talafeagai mo le saunia o ata tifaga maualuga. Ua fa'ateleina le fa'alogoina o le sputtering i tausaga talu ai ma ua avea ma auala tele mo le fa'aosoina o ata manifinifi o mea fa'aoga eseese. Ua faʻaaogaina lautele i le gaosiga o IV, I- ma IV-V faʻapipiʻi, semiconductors refractory, ma le tele o oxides, e pei o le faʻaogaina o polycrystalline Si ma CH./Ar faʻafefiloi o kasa e fana ai le timuga o SiC ata manifinifi, Ti sini ma N / Ar e saunia TiN ata tifaga faigata, Ta ma O / Ar e saunia TaO; ata manifinifi dielectric, Fe ma O,/Ar e saunia -FezO; -FezO. pueina ata, AIN piezoelectric ata tifaga ma A1 ma N / Ar, A1-CO filifilia absorption ata tifaga ma AI ma CO / Ar, ma YBaCuO-superconducting ata tifaga ma Y-Ba-Cu ma O / Ar, faatasi ai ma isi.
–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Ian-18-2024