Vacuum Cathode Arc Ion Coating

Vacuum cathode arc ioncoua fa'apu'upu'u o le vacuum arccoa'oa'oina. Afai e lua pe sili atu fa'apogai fa'asao arc (e ta'ua o arc sources) e fa'aogaina, e ta'ua o le multi arc ion.cota'ita'i po'o le tele arccoa'oa'oina. Ose masini fa'alava iona fa'atekonolosi e fa'aogaina ai le fa'a'ave'esea o le vacuum arc mo fa'apogai fa'asao. E le pei o le vevela electron arc o o'o'o cathode lafoaia, o lona arc foliga o le fausia o le cathode arc spots i luga o le mata o le cathode malulu.

O uiga o le vacuum cathode arc ioncoe iai:

(1) O le puna evaporation o se sini cathode mausali, lea e gaosia saʻo plasma mai le puna sini cathode e aunoa ma le manaomia o se vaitaele uʻamea. E mafai ona fa'atulagaina le puna fa'atatau arc i so'o se itu ma le tele o fa'apogai e fa'amautinoa ai le fa'aofuofu toniga.

(2) O le fausaga meafaigaluega e fai si faigofie, e aunoa ma le manaʻomia mo le galue kesi po o auala ionization fesoasoani. O le arc autu autu e le gata o se puna evaporation mo mea cathode, ae faapea foi se puna ion; A'o fa'agasolo fa'agaoioiga, e na'o le kasa fa'afoliga o lo'o i ai, ma o le ea e fa'atonutonuina e fa'aaoga ai se fa'atonuga faigofie atoa.

(3) E maualuga le fua o le ionization, e masani ona oʻo i le 60% ~ 80%, ma le maualuga o le tuʻuina atu.

(4) E maualuga le malosi o le ion, ma e lelei le malosi o le fusifusia o le ata tifaga / substrate.

(5) Fa'aaogaina o le eletise maualalo mo le fa'agaioiga saogalemu.

(6) E mafai ona teuina ata uʻamea, uʻamea ata tifaga, tali ma synthesize eseʻese ata faʻafefiloi (ammonia compounds, carbides, oxides), ma e oʻo lava synthesize DLC ata tifaga, CN ata tifaga, ma isi. O lona le lelei o le taimi o le deposition, o tamai mataua o le vai e splashed mai luga o le taulaiga, lea condense i le lapisi gaoa o ata tifaga ma faateleina. I le taimi nei, e tele auala aoga ua suʻesuʻeina e faʻaitiitia ma faʻaumatia ai nei micro droplets.

Vacuum arc ioncoO tekinolosi ua fa'aaogaina lautele e fa'alavalava ai coatings puipui sili mo mea faigaluega ma li'o. O faiga ata tifaga e aofia ai TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, ma isi mea Faʻapipiʻi oloa e aofia ai meafaigaluega, molds, ma isi. enaena, lanumoana lanumeamata lanu efuefu, ma isi.

Tele arc ioncoO loʻo i ai le tele o faʻaoga ma le faʻaaogaina malosi, aemaise lava i le faʻapipiʻiina o mea teuteu ma faʻaofuofu faʻamalosi ata tifaga i luga o luga o mea e pei o meafaigaluega tipi, molds, ma papatusi uamea.