Kaj je premaz z uporovnim izhlapevanjem?

Uporovno izhlapevanje vira nanašanja premaza je osnovna metoda vakuumskega izhlapevanja. »Izhlapevanje« se nanaša na metodo priprave tankega filma, pri kateri se material premaza v vakuumski komori segreje in izhlapi, tako da atomi ali molekule materiala uparijo in uidejo s površine, kar tvori pojav parnega toka, ki pada na površino substrata ali podlage in se na koncu kondenzira v trdno plast.

Tako imenovana metoda nanašanja vira uporovnega izhlapevanja je uporaba tantala, molibdena, volframa in drugih kovin z visokim tališčem za izdelavo ustrezne oblike vira izhlapevanja, ki je napolnjen z materiali, ki jih je treba izhlapeti, pusti pretok zraka, neposredno segreje in izhlapeva izhlapevane materiale ali pa se materiali, ki jih je treba izhlapeti, dajo v lončke iz aluminijevega oksida, berilijevega oksida in drugih lončkov za posredno segrevanje in izhlapevanje. To je metoda uporovnega segrevanja in izhlapevanja.

Thestroj za vakuumsko izhlapevanje in premazovanjeOgrevanje in uparjanje z uporovnim grelnikom ima prednosti preproste strukture, nizkih stroškov in zanesljive uporabe. Uporablja se lahko za naparjanje materialov z nizkim tališčem, zlasti za masovno proizvodnjo z nizkimi zahtevami glede kakovosti nanosa. Do sedaj se pri proizvodnji aluminiziranih ogledal uporablja veliko število postopkov nanosa z uporovnim segrevanjem in uparjanjem.

Slabosti metode nanosa z izhlapevanjem z uporovnim izhlapevanjem so omejena najvišja temperatura, ki jo je mogoče doseči z ogrevanjem, in kratka življenjska doba grelnika. V zadnjih letih so tovarne opreme za podaljšanje življenjske dobe uporovnega izhlapevanja kot vir izhlapevanja uporabile prevodni keramični material, sintetiziran iz borovega nitrida, z dolgo življenjsko dobo. Glede na japonsko patentno poročilo lahko uporabijo materiale, sestavljene iz 20 % do 30 % borovega nitrida in ognjevzdržnih materialov, ki jih je mogoče zliti z njim, da se ustvari vir izhlapevanja (lonček), in njegovo površino prekrijejo s plastjo cirkonija, ki vsebuje 62 % do 82 %, preostanek pa so zlitine cirkonija in silicija.