Vakuumska katoda obločni ioncoVacuum arc je skrajšano kot vakuumski oblok.coČe se uporabljata dva ali več virov vakuumskega obločnega izparevanja (imenovanih viri obloka), se to imenuje večobločni ion.coali večločnicoTo je tehnologija vakuumskega ionskega nanašanja, ki za vire izhlapevanja uporablja vakuumski obločni razelektritev. Za razliko od vročega elektronskega obloka razelektritve z votlo katodo je njegova oblika obloka nastanek katodnih obločnih pik na površini hladne katode.
Značilnosti vakuumske katodne obločne ionecojedo so:
(1) Vir izhlapevanja je trdna katodna tarča, ki neposredno ustvarja plazmo iz vira katodne tarče brez potrebe po staljenem bazenu. Vir obločne tarče je mogoče razporediti v poljubni smeri in z več viri, da se zagotovi enakomeren nanos.
(2) Struktura opreme je relativno preprosta, brez potrebe po delovnem plinu ali pomožnih ionizacijskih metodah. Vir obločne tarče ni le vir izhlapevanja katodnega materiala, temveč tudi vir ionov; med reaktivnim nanašanjem obstaja samo reaktivni plin, atmosfera pa se nadzoruje s preprostim nadzorom polnega tlaka.
(3) Stopnja ionizacije je visoka, običajno doseže 60 % ~ 80 %, in stopnja nanašanja je visoka.
(4) Energija vpadnih ionov je visoka, vezavna sila med filmom in podlago pa je dobra.
(5) Uporaba nizkonapetostnega napajanja za varno delovanje.
(6) Lahko nanaša kovinske filme, filme zlitin, reagira in sintetizira različne sestavljene filme (amonijeve spojine, karbide, okside) in celo sintetizira DLC filme, CN filme itd. Njegova pomanjkljivost je, da med nanašanjem s ciljne površine brizgnejo drobne kapljice tekočine, ki se kondenzirajo v prevlečeni plasti filma in povečajo hrapavost plasti filma. Trenutno je bilo preučenih veliko učinkovitih metod za zmanjšanje in odpravo teh mikro kapljic.
Vakuumski obločni ioncoTehnologija nanašanja premazov se pogosto uporablja za nanašanje supertrdih zaščitnih premazov za orodja in kalupe. Filmski sistemi vključujejo TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC itd. Izdelki za nanašanje premazov vključujejo orodja, kalupe itd. Kar zadeva imitacije zlata in barvne dekorativne zaščitne premaze, filmski sistemi vključujejo TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON itd. Barvni filmski sistemi vključujejo črno, črno, vijolično, rjavo, modro, zeleno, sivo itd.
Večločni ioncoPremaz ima široko paleto aplikacij in veliko praktičnost, zlasti pri nanašanju dekorativnih in obrabno odpornih trdih filmskih slojev na površine materialov, kot so rezalna orodja, kalupi in plošče iz nerjavečega jekla.
Čas objave: 17. avg. 2023