Nanášanie povrchovej úpravy odporovým odparovaním je základná metóda nanášania povrchovej úpravy vákuovým odparovaním. „Odparovanie“ označuje metódu prípravy tenkej vrstvy, pri ktorej sa materiál povlaku vo vákuovej komore zahrieva a odparuje, takže atómy alebo molekuly materiálu sa odparujú a unikajú z povrchu, čím vzniká jav prúdenia pary, ktorá dopadá na povrch substrátu alebo podkladu a nakoniec kondenzuje za vzniku pevnej vrstvy.
Takzvaná metóda nanášania odparovacieho zdroja pomocou odporového vyparovania spočíva v použití tantalu, molybdénu, volfrámu a iných kovov s vysokou teplotou topenia na vytvorenie vhodného tvaru odparovacieho zdroja, ktorý je naplnený odparovaným materiálom, nechá sa ním prúdiť vzduch, priamo sa ohrievajú a odparujú odparené materiály alebo sa odparované materiály umiestnia do téglikov z oxidu hlinitého, oxidu berýlia a iných oxidov na nepriamy ohrev a odparovanie. Ide o metódu odparovania odporovým ohrevom.
Ten/Tá/Továkuový odparovací nanášací strojOhrev a odparovanie odporovým ohrievačom má výhody jednoduchej konštrukcie, nízkych nákladov a spoľahlivého použitia. Môže sa použiť na naparovanie materiálov s nízkou teplotou topenia, najmä pri hromadnej výrobe s nízkymi požiadavkami na kvalitu povlaku. Doteraz sa pri výrobe hliníkovaných zrkadiel používa veľké množstvo procesov naparovania odporovým ohrevom a odparovaním.
Nevýhodou metódy nanášania odparovacej vrstvy pomocou zdroja odporového odparovania je obmedzená maximálna teplota, ktorú je možné dosiahnuť ohrevom, a krátka životnosť ohrievača. V posledných rokoch, s cieľom predĺžiť životnosť zdroja odporového odparovania, továreň na výrobu zariadení prijala ako zdroj odparovania vodivý keramický materiál syntetizovaný z nitridu bóru s dlhou životnosťou. Podľa japonskej patentovej správy je možné použiť materiály zložené z 20 % až 30 % nitridu bóru a žiaruvzdorných materiálov, ktoré je možné s ním spojiť, aby sa vytvoril zdroj odparovania (téglik), a jeho povrch sa pokryje vrstvou zirkónia obsahujúcou 62 % až 82 % a zvyšok tvoria zliatiny zirkónia a kremíka.
Čas uverejnenia: 22. apríla 2023