V procese naprašovania sa zlúčeniny môžu použiť ako terče na prípravu chemicky syntetizovaných filmov. Zloženie filmu vytvoreného po naprašovaní terčového materiálu sa však často výrazne líši od pôvodného zloženia terčového materiálu, a preto nespĺňa požiadavky pôvodného návrhu. Ak sa použije čistý kovový terč, požadovaný aktívny plyn (napr. kyslík pri príprave oxidových filmov) sa zámerne primieša do pracovného (výbojového) plynu, aby chemicky reagoval s terčovým materiálom a vytvoril tenký film, ktorého zloženie a vlastnosti je možné kontrolovať. Táto metóda sa často označuje ako „reakčné naprašovanie“.
Ako už bolo spomenuté, RF naprašovanie sa môže použiť na nanášanie dielektrických filmov a rôznych zlúčenín. Na prípravu „čistého“ filmu je však potrebný „čistý“ terč, vysoko čistý oxidový, nitridový, karbidový alebo iný zlúčený prášok. Spracovanie týchto práškov na terč určitého tvaru vyžaduje pridanie prísad potrebných na tvarovanie alebo spekanie, čo vedie k výraznému zníženiu čistoty terča a výsledného filmu. Pri reaktívnom naprašovaní sa však vďaka možnosti použitia vysoko čistých kovov a vysoko čistých plynov vytvárajú vhodné podmienky na prípravu vysoko čistých filmov. Reaktívne naprašovanie sa v posledných rokoch teší čoraz väčšej pozornosti a stalo sa hlavnou metódou na vyzrážanie tenkých filmov rôznych funkčných zlúčenín. Široko sa používa pri výrobe zlúčenín IV, I- a IV-V, žiaruvzdorných polovodičov a rôznych oxidov, ako je napríklad použitie polykryštalickej zmesi plynov Si a CH₄/Ar na natáčanie precipitácie tenkých vrstiev SiC, Ti terča a N/Ar na prípravu tvrdých vrstiev TiN, Ta a O/Ar na prípravu TaO₃; dielektrických tenkých vrstiev, Fe a O₂/Ar na prípravu -FezO₃; záznamových vrstiev -FezO₃, piezoelektrických vrstiev AIN s Al a N/Ar, selektívnych absorpčných vrstiev A1-CO s Al a CO/Ar a supravodivých vrstiev YBaCuO s Y-Ba-Cu a O/Ar, okrem iného.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 18. januára 2024