Oblúkový ión vákuovej katódycoOblúk sa skrátene nazýva vákuový oblúk.coAk sa použijú dva alebo viac zdrojov vákuového oblúkového odparovania (označovaných ako oblúkové zdroje), nazýva sa to viacoblúkové iónové naparovanie.cooblúkové alebo viacoblúkovécoIde o technológiu vákuového iónového povlakovania, ktorá využíva vákuový oblúkový výboj ako zdroje odparovania. Na rozdiel od horúceho elektrónového oblúka výboja s dutou katódou je jeho oblúková forma tvorbou katódových oblúkových škvŕn na povrchu studenej katódy.
Charakteristiky oblúkových iónov vo vákuovej katódecosú:
(1) Zdrojom odparovania je pevný katódový terč, ktorý priamo generuje plazmu zo zdroja katódového terča bez potreby roztaveného bazéna. Zdroj oblúkového terča môže byť usporiadaný v ľubovoľnom smere a môže byť z viacerých zdrojov usporiadaný, aby sa zabezpečilo rovnomerné nanášanie povlaku.
(2) Štruktúra zariadenia je relatívne jednoduchá, bez potreby pracovného plynu alebo pomocných ionizačných metód. Zdroj oblúkového terča nie je len zdrojom odparovania katódového materiálu, ale aj zdrojom iónov; počas reaktívneho nanášania existuje iba reaktívny plyn a atmosféra sa reguluje pomocou jednoduchej regulácie plného tlaku.
(3) Rýchlosť ionizácie je vysoká, zvyčajne dosahuje 60 % až 80 %, a rýchlosť usadzovania je vysoká.
(4) Energia dopadajúcich iónov je vysoká a väzbová sila medzi filmom a substrátom naneseného filmu je dobrá.
(5) Pre bezpečnú prevádzku použite nízkonapäťový zdroj napájania.
(6) Dokáže nanášať kovové filmy, zliatinové filmy, reagovať a syntetizovať rôzne zložené filmy (zlúčeniny amoniaku, karbidy, oxidy) a dokonca syntetizovať DLC filmy, CN filmy atď. Jeho nevýhodou je, že počas nanášania z cieľového povrchu striekajú drobné kvapôčky kvapaliny, ktoré kondenzujú v potiahnutej vrstve filmu a zvyšujú jej drsnosť. V súčasnosti sa skúmalo mnoho účinných metód na zníženie a elimináciu týchto mikroskopických kvapôčok.
Vákuový oblúkový ióncoTechnológia nanášania sa široko používa na nanášanie supertvrdých ochranných povlakov na nástroje a formy. Medzi filmové systémy patria TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC atď. Medzi náterové produkty patria nástroje, formy atď. Pokiaľ ide o imitáciu zlata a farebné dekoratívne ochranné povlaky, filmové systémy zahŕňajú TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON atď. Farebné filmové systémy zahŕňajú čiernu, čiernu, fialovú, hnedú, modrozelenú, sivú atď.
Viacoblúkový ióncoPovrchová úprava má široké uplatnenie a veľkú praktickosť, najmä pri nanášaní dekoratívnych a odolných tvrdých vrstiev na povrchy materiálov, ako sú rezné nástroje, formy a plechy z nehrdzavejúcej ocele.
Čas uverejnenia: 17. augusta 2023