ප්රතිරෝධක වාෂ්පීකරණ ප්රභව ආලේපනය මූලික රික්ත වාෂ්පීකරණ ආලේපන ක්රමයකි. "වාෂ්පීකරණය" යනු රික්ත කුටියේ ඇති ආලේපන ද්රව්ය රත් කර වාෂ්පීකරණය කරන තුනී පටල සකස් කිරීමේ ක්රමයකි, එවිට ද්රව්ය පරමාණු හෝ අණු වාෂ්ප වී මතුපිටින් ගැලවී ගොස් වාෂ්ප ප්රවාහ සංසිද්ධියක් සාදයි, උපස්ථරයේ හෝ උපස්ථරයේ මතුපිට සිදුවීම සහ අවසානයේ ඝනීභවනය වී ඝන පටලයක් සාදයි.
ඊනියා ප්රතිරෝධක වාෂ්පීකරණ ප්රභව ආලේපන ක්රමය නම් ටැන්ටලම්, මොලිබ්ඩිනම්, ටංස්ටන් සහ අනෙකුත් ඉහළ ද්රවාංක ලෝහ භාවිතා කර සුදුසු වාෂ්පීකරණ ප්රභවයක් සෑදීමයි, එය වාෂ්පීකරණය කළ යුතු ද්රව්ය වලින් පටවා, වාතය ගලා යාමට ඉඩ දී, වාෂ්පීකරණය කළ ද්රව්ය සෘජුවම රත් කර වාෂ්ප කර, නැතහොත් වාෂ්පීකරණය කළ යුතු ද්රව්ය ඇලුමිනා, බෙරිලියම් ඔක්සයිඩ් සහ වක්ර උණුසුම සහ වාෂ්පීකරණය සඳහා අනෙකුත් කබොලවලට දැමීමයි. මෙය ප්රතිරෝධක තාපන වාෂ්පීකරණ ක්රමයයි.
එමරික්ත වාෂ්පීකරණ ආලේපන යන්ත්රයප්රතිරෝධක තාපකයක් මගින් රත් කර වාෂ්පීකරණය කරන ලද සරල ව්යුහය, අඩු පිරිවැය සහ විශ්වාසදායක භාවිතයේ වාසි ඇත. අඩු ද්රවාංකයක් සහිත ද්රව්යවල වාෂ්පීකරණ ආලේපනය සඳහා, විශේෂයෙන් ආලේපන ගුණාත්මකභාවය සඳහා අඩු අවශ්යතා සහිත මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනය සඳහා එය භාවිතා කළ හැකිය. මේ වන විට, ඇලුමිනියම් කරන ලද දර්පණ නිෂ්පාදනයේදී ප්රතිරෝධක උණුසුම සහ වාෂ්පීකරණය පිළිබඳ ආලේපන ක්රියාවලීන් විශාල සංඛ්යාවක් තවමත් භාවිතයට ගෙන ඇත.
ප්රතිරෝධක වාෂ්පීකරණ ප්රභව වාෂ්පීකරණ ආලේපන ක්රමයේ අවාසි නම්, උණුසුම මගින් ළඟා විය හැකි උපරිම උෂ්ණත්වය සීමිත වන අතර, තාපකයේ සේවා කාලය ද කෙටි වීමයි. මෑත වසරවලදී, ප්රතිරෝධක වාෂ්පීකරණ ප්රභවයේ ආයු කාලය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා, උපකරණ කර්මාන්ත ශාලාව දිගු ආයු කාලයක් සහිත බෝරෝන් නයිට්රයිඩ් මගින් සංස්ලේෂණය කරන ලද සන්නායක සෙරමික් ද්රව්ය වාෂ්පීකරණ ප්රභවය ලෙස යොදාගෙන ඇත. ජපන් පේටන්ට් වාර්තාවකට අනුව, එයට 20% ~ 30% බෝරෝන් නයිට්රයිඩ් සහ පරාවර්තක ද්රව්ය වලින් සමන්විත ද්රව්ය භාවිතා කර වාෂ්පීකරණ ප්රභවය (කෲසිබල්) බවට පත් කළ හැකි අතර, එහි මතුපිට 62% ~ 82% අඩංගු සර්කෝනියම් තට්ටුවකින් ආලේප කළ හැකි අතර ඉතිරිය සර්කෝනියම්-සිලිකන් මිශ්ර ලෝහ ද්රව්ය වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: අප්රේල්-22-2023