ප්‍රතික්‍රියාශීලී ඉසින ආලේපන ලක්ෂණ සහ යෙදුම්

ස්පුටරින් ආලේපන ක්‍රියාවලියේදී, රසායනිකව සංස්ලේෂණය කරන ලද පටල සකස් කිරීම සඳහා ඉලක්ක ලෙස සංයෝග භාවිතා කළ හැකිය. කෙසේ වෙතත්, ඉලක්කගත ද්‍රව්‍ය ස්පුටරින් කිරීමෙන් පසු ජනනය වන පටලයේ සංයුතිය බොහෝ විට ඉලක්කගත ද්‍රව්‍යයේ මුල් සංයුතියෙන් බොහෝ සෙයින් අපගමනය වන අතර එම නිසා මුල් සැලසුමේ අවශ්‍යතා සපුරාලන්නේ නැත. පිරිසිදු ලෝහ ඉලක්කයක් භාවිතා කරන්නේ නම්, අවශ්‍ය ක්‍රියාකාරී වායුව (උදා: ඔක්සයිඩ් පටල සකස් කිරීමේදී ඔක්සිජන්) ක්‍රියාකාරී (විසර්ජන) වායුවට සවිඥානිකව මිශ්‍ර කරනු ලැබේ, එවිට එය ඉලක්කගත ද්‍රව්‍ය සමඟ රසායනිකව ප්‍රතික්‍රියා කර එහි සංයුතිය හා ලක්ෂණ අනුව පාලනය කළ හැකි තුනී පටලයක් නිපදවයි. මෙම ක්‍රමය බොහෝ විට "ප්‍රතික්‍රියා ස්පුටරින්" ලෙස හැඳින්වේ.

කලින් සඳහන් කළ පරිදි, RF ස්පුටරින් භාවිතයෙන් පාර විද්‍යුත් ද්‍රව්‍ය පටල සහ විවිධ සංයෝග පටල තැන්පත් කළ හැකිය. කෙසේ වෙතත්, "පිරිසිදු" පටලයක් සකස් කිරීම සඳහා, "පිරිසිදු" ඉලක්කයක්, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඔක්සයිඩ්, නයිට්‍රයිඩ්, කාබයිඩ් හෝ වෙනත් සංයෝග කුඩු තිබීම අවශ්‍ය වේ. මෙම කුඩු යම් හැඩයක ඉලක්කයකට සැකසීම සඳහා අච්චු ගැසීම හෝ සින්ටර් කිරීම සඳහා අවශ්‍ය ආකලන එකතු කිරීම අවශ්‍ය වන අතර එමඟින් ඉලක්කයේ සංශුද්ධතාවය සහ එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස ලැබෙන පටලය සැලකිය යුතු ලෙස අඩු වේ. කෙසේ වෙතත්, ප්‍රතික්‍රියාශීලී ස්පුටරින් කිරීමේදී, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ලෝහ සහ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් වායු භාවිතා කළ හැකි බැවින්, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් පටල සකස් කිරීම සඳහා පහසු කොන්දේසි සපයනු ලැබේ. ප්‍රතික්‍රියාශීලී ස්පුටරින් කිරීම මෑත වසරවලදී වැඩි අවධානයක් ලබාගෙන ඇති අතර විවිධ ක්‍රියාකාරී සංයෝගවල තුනී පටල අවක්ෂේපණය කිරීම සඳහා ප්‍රධාන ක්‍රමයක් බවට පත්ව ඇත. එය IV, I- සහ IV-V සංයෝග, වර්තන අර්ධ සන්නායක සහ විවිධ ඔක්සයිඩ නිෂ්පාදනය සඳහා බහුලව භාවිතා කර ඇත, උදාහරණයක් ලෙස SiC තුනී පටලවල අවක්ෂේපණය වෙඩි තැබීම සඳහා බහු ස්ඵටික Si සහ CH./Ar වායු මිශ්‍රණය භාවිතා කිරීම, TiN දෘඩ පටල සකස් කිරීම සඳහා Ti ඉලක්කය සහ N/Ar, TaO සකස් කිරීම සඳහා Ta සහ O/Ar; -FezO සකස් කිරීම සඳහා පාර විද්‍යුත් තුනී පටල, Fe සහ O,/Ar; -FezO. පටිගත කිරීමේ පටල, A1 සහ N/Ar සමඟ AIN පීසෝ ඉලෙක්ට්‍රික් පටල, AI සහ CO/Ar සමඟ A1-CO තෝරාගත් අවශෝෂණ පටල සහ Y-Ba-Cu සහ O/Ar සමඟ YBaCuO-අධි සන්නායක පටල, ආදිය.

–මෙම ලිපිය ප්‍රකාශයට පත් කර ඇත්තේරික්ත ආලේපන යන්ත්‍ර නිෂ්පාදකයාGuangdong Zhenhua