රික්ත කැතෝඩ චාප අයන ආලේපනය පිළිබඳ දළ විශ්ලේෂණය

රික්ත කැතෝඩ චාප අයනcoඒටින් යනු රික්ත චාපයක් ලෙස කෙටියෙන් හැඳින්වේ.coරික්ත චාප වාෂ්පීකරණ ප්‍රභව දෙකක් හෝ වැඩි ගණනක් (චාප ප්‍රභව ලෙස හැඳින්වේ) භාවිතා කරන්නේ නම්, එය බහු චාප අයන ලෙස හැඳින්වේ.coඇටිං හෝ බහු චාපcoating. එය වාෂ්පීකරණ ප්‍රභවයන් සඳහා රික්ත චාප විසර්ජනය භාවිතා කරන රික්ත අයන ආලේපන තාක්ෂණයකි. කුහර කැතෝඩ විසර්ජනයේ උණුසුම් ඉලෙක්ට්‍රෝන චාපයට වෙනස්ව, එහි චාප ස්වරූපය වන්නේ සීතල කැතෝඩයේ මතුපිට කැතෝඩ චාප ලප සෑදීමයි.

රික්ත කැතෝඩ චාප අයනවල ලක්ෂණcoවර්ග:

(1) වාෂ්පීකරණ ප්‍රභවය ඝන කැතෝඩ ඉලක්කයක් වන අතර, එය උණු කළ තටාකයක අවශ්‍යතාවයකින් තොරව කැතෝඩ ඉලක්ක ප්‍රභවයෙන් ප්ලාස්මා සෘජුවම ජනනය කරයි. ඒකාකාර ආලේපනයක් සහතික කිරීම සඳහා චාප ඉලක්ක ප්‍රභවය ඕනෑම දිශාවකට සහ බහු ප්‍රභවයන් වෙත සකස් කළ හැකිය.

(2) උපකරණ ව්‍යුහය සාපේක්ෂව සරල වන අතර, වැඩ කරන වායුව හෝ සහායක අයනීකරණ ක්‍රම අවශ්‍ය නොවේ. චාප ඉලක්ක ප්‍රභවය කැතෝඩ ද්‍රව්‍ය සඳහා වාෂ්පීකරණ ප්‍රභවයක් පමණක් නොව, අයන ප්‍රභවයක් ද වේ; ප්‍රතික්‍රියාශීලී තැන්පත් වීමේදී, ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායුව පමණක් පවතින අතර, සරල පූර්ණ පීඩන පාලනයක් භාවිතයෙන් වායුගෝලය පාලනය වේ.

(3) අයනීකරණ අනුපාතය ඉහළ මට්ටමක පවතින අතර, සාමාන්‍යයෙන් 60%~80% දක්වා ළඟා වන අතර, තැන්පත් වීමේ අනුපාතය ඉහළ මට්ටමක පවතී.

(4) පතන අයන ශක්තිය ඉහළ වන අතර, තැන්පත් කරන ලද පටලයේ පටල/උපස්ථර බන්ධන බලය හොඳයි.

(5) ආරක්ෂිතව ක්‍රියා කිරීම සඳහා අඩු වෝල්ටීයතා බල සැපයුමක් භාවිතා කිරීම.

(6) එයට ලෝහ පටල, මිශ්‍ර ලෝහ පටල තැන්පත් කිරීමට, විවිධ සංයෝග පටල (ඇමෝනියා සංයෝග, කාබයිඩ්, ඔක්සයිඩ්) ප්‍රතික්‍රියා කර සංස්ලේෂණය කිරීමට සහ DLC පටල, CN පටල ආදිය පවා සංස්ලේෂණය කිරීමට හැකිය. එහි අවාසිය නම්, තැන්පත් කිරීමේදී, ඉලක්කගත මතුපිටින් කුඩා ද්‍රව බිංදු විසිරී යාමයි, එය ආලේපිත පටල ස්ථරයේ ඝනීභවනය වන අතර පටල ස්ථරයේ රළුබව වැඩි කරයි. වර්තමානයේ, මෙම ක්ෂුද්‍ර බිංදු අඩු කිරීමට සහ ඉවත් කිරීමට බොහෝ ඵලදායී ක්‍රම අධ්‍යයනය කර ඇත.

රික්ත චාප අයනයcoමෙවලම් සහ අච්චු සඳහා අධි දෘඩ ආරක්ෂිත ආලේපන ආලේප කිරීම සඳහා ating තාක්ෂණය බහුලව භාවිතා වේ. චිත්‍රපට පද්ධති අතර TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, ආදිය ඇතුළත් වේ. ආලේපන නිෂ්පාදන අතර මෙවලම්, අච්චු ආදිය ඇතුළත් වේ. අනුකරණ රන් සහ වර්ණ අලංකාර ආරක්ෂිත ආලේපන සම්බන්ධයෙන් ගත් කල, චිත්‍රපට පද්ධති අතර TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, ආදිය ඇතුළත් වේ. වර්ණ පටල පද්ධති අතර තුවක්කු කළු, කළු, දම්, දුඹුරු, නිල් කොළ අළු ආදිය ඇතුළත් වේ.

බහු චාප අයනcoකැපුම් මෙවලම්, අච්චු සහ මල නොබැඳෙන වානේ තහඩු වැනි ද්‍රව්‍යවල මතුපිට අලංකාර සහ ඇඳුම්-ප්‍රතිරෝධී දෘඩ පටල ස්ථර ආලේප කිරීමේදී, ating පුළුල් පරාසයක යෙදුම් සහ ශක්තිමත් ප්‍රායෝගිකත්වයක් ඇත.