گوانگ ڊونگ زينهوا ٽيڪنالاجي ڪمپني لميٽيڊ ۾ ڀليڪار.
سنگل_بينر

ويڪيوم ڪيٿوڊ آرڪ آئن ڪوٽنگ جو جائزو

مضمون جو ذريعو: زينهوا ويڪيوم
پڙهو: 10
شايع ٿيل: 23-08-17

ويڪيوم ڪيٿوڊ آرڪ آئنcoايٽنگ کي ويڪيوم آرڪ جي نالي سان مختصر ڪيو ويندو آهي.coجيڪڏهن ٻه يا وڌيڪ ويڪيوم آرڪ بخارات جا ذريعا (جن کي آرڪ ذريعا چيو ويندو آهي) استعمال ڪيا وڃن، ته ان کي ملٽي آرڪ آئن چئبو آهي.coايٽنگ يا ملٽي آرڪcoايٽنگ. اها هڪ ويڪيوم آئن ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي آهي جيڪا بخارات جي ذريعن لاءِ ويڪيوم آرڪ ڊسچارج استعمال ڪري ٿي. خالي ڪيٿوڊ ڊسچارج جي گرم اليڪٽران آرڪ جي برعڪس، ان جي آرڪ فارم ٿڌي ڪيٿوڊ جي مٿاڇري تي ڪيٿوڊ آرڪ اسپاٽس جي ٺهڻ آهي.

微信图片_20230817160055

ويڪيوم ڪيٿوڊ آرڪ آئن جون خاصيتونcoشيون آهن:

(1) بخارات جو ذريعو هڪ مضبوط ڪيٿوڊ ٽارگيٽ آهي، جيڪو پگھليل تلاءَ جي ضرورت کان سواءِ ڪيٿوڊ ٽارگيٽ ذريعو مان سڌو سنئون پلازما پيدا ڪري ٿو. آرڪ ٽارگيٽ ذريعو کي ڪنهن به طرف ۽ ڪيترن ئي ذريعن ۾ ترتيب ڏئي سگهجي ٿو ته جيئن هڪجهڙائي ڪوٽنگ کي يقيني بڻائي سگهجي.

(2) سامان جي جوڙجڪ نسبتاً سادو آهي، ڪم ڪندڙ گئس يا معاون آئنائيزيشن طريقن جي ضرورت کان سواءِ. آرڪ ٽارگيٽ ذريعو نه رڳو ڪيٿوڊ مواد لاءِ بخارات جو ذريعو آهي، پر هڪ آئن ذريعو پڻ آهي؛ رد عمل جي جمع دوران، صرف رد عمل واري گئس موجود هوندي آهي، ۽ ماحول کي هڪ سادي مڪمل دٻاءُ ڪنٽرول استعمال ڪندي ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي.

(3) آئنائيزيشن جي شرح وڌيڪ آهي، عام طور تي 60٪ ~ 80٪ تائين پهچي ٿي، ۽ جمع ٿيڻ جي شرح وڌيڪ آهي.

(4) واقعن جي آئن توانائي وڌيڪ آهي، ۽ جمع ٿيل فلم جي فلم/سبسٽريٽ بانڊنگ فورس سٺي آهي.

(5) محفوظ آپريشن لاءِ گهٽ وولٽيج پاور سپلاءِ استعمال ڪرڻ.

(6) اهو ڌاتو فلمون، مصر فلمون جمع ڪري سگهي ٿو، رد عمل ڪري سگهي ٿو ۽ مختلف مرڪب فلمون (امونيا مرکبات، ڪاربائڊس، آڪسائيڊ) کي به گڏ ڪري سگهي ٿو، ۽ ڊي ايل سي فلمون، سي اين فلمون، وغيره کي به گڏ ڪري سگهي ٿو. ان جو نقصان اهو آهي ته جمع ڪرڻ دوران، مائع جا ننڍڙا قطرا ٽارگيٽ مٿاڇري تان ڦاٽي پوندا آهن، جيڪي ڪوٽيڊ فلم پرت ۾ ڳري ويندا آهن ۽ فلم پرت جي خرابي کي وڌائيندا آهن. في الحال، انهن مائڪرو بوندن کي گهٽائڻ ۽ ختم ڪرڻ لاءِ ڪيترائي اثرائتي طريقا مطالعو ڪيا ويا آهن.

ويڪيوم آرڪ آئنcoاوزارن ۽ مولڊز لاءِ سپر هارڊ حفاظتي ڪوٽنگن کي ڪوٽ ڪرڻ لاءِ ايٽنگ ٽيڪنالاجي وڏي پيماني تي استعمال ڪئي وئي آهي. فلم سسٽم ۾ TiN، ZrN، HfN، TiAIN، TiC، TiNC، CrN، Al2O3، DLC، وغيره شامل آهن. ڪوٽنگ پراڊڪٽس ۾ اوزار، مولڊ، وغيره شامل آهن. نقلي سون ۽ رنگ جي آرائشي حفاظتي ڪوٽنگن جي لحاظ کان، فلم سسٽم ۾ TiN، ZrN، TiAIN، TiAINC، TC، TiNC، DLC، Ti-ON، TONC، ZrCN، Zr-ON، وغيره شامل آهن. رنگين فلم سسٽم ۾ بندوق ڪارو، ڪارو، جامني، ناسي، نيرو سائو گرين، وغيره شامل آهن.

ملٽي آرڪ آئنcoايٽنگ ۾ ايپليڪيشنن جي هڪ وسيع رينج ۽ مضبوط عملييت آهي، خاص طور تي ڪٽڻ وارن اوزارن، مولڊز، ۽ اسٽينلیس اسٽيل پليٽن جهڙن مواد جي مٿاڇري تي آرائشي ۽ لباس مزاحمتي سخت فلم جي تہن کي ڪوٽنگ ڪرڻ ۾.


پوسٽ جو وقت: آگسٽ-17-2023