Что такое покрытие с резистивным источником испарения?

Покрытие с использованием источника резистивного испарения является основным методом вакуумного испарения. «Испарение» относится к методу подготовки тонкой пленки, при котором материал покрытия в вакуумной камере нагревается и испаряется, так что атомы или молекулы материала испаряются и покидают поверхность, образуя явление потока пара, падающего на поверхность подложки или субстрата, и в конечном итоге конденсируются, образуя твердую пленку.

Так называемый метод покрытия источника испарения сопротивления заключается в использовании тантала, молибдена, вольфрама и других металлов с высокой температурой плавления для создания соответствующей формы источника испарения, в который загружаются материалы, подлежащие испарению, пропускают воздух, напрямую нагревают и испаряют испаряемые материалы или помещают испаряемые материалы в тигли из оксида алюминия, оксида бериллия и других материалов для косвенного нагрева и испарения. Это метод испарения с резистивным нагревом.

TheМашина для нанесения покрытий методом вакуумного испарениянагреваемый и испаряемый резистивным нагревателем имеет преимущества простой конструкции, низкой стоимости и надежного использования. Его можно использовать для нанесения покрытий испарением на материалы с низкой температурой плавления, особенно для массового производства с низкими требованиями к качеству покрытия. До сих пор существует большое количество процессов нанесения покрытий резистивным нагревом и испарением, используемых в производстве алюминированных зеркал.

Недостатками метода покрытия испарителя сопротивления являются то, что максимальная температура, которая может быть достигнута при нагревании, ограничена, а срок службы нагревателя также невелик. В последние годы, чтобы улучшить срок службы источника испарения сопротивления, завод оборудования принял в качестве источника испарения проводящий керамический материал, синтезированный нитридом бора с длительным сроком службы. Согласно японскому патентному отчету, он может использовать материалы, состоящие из 20% ~ 30% нитрида бора и огнеупорных материалов, которые могут быть сплавлены с ним, чтобы сделать источник испарения (тигель), и покрыть его поверхность слоем циркония, содержащим 62% ~ 82%, а остальное - материалы из сплава циркония и кремния.