Вакуумный катод дуговой ионныйcoating сокращенно называется вакуумной дугойcoating. Если используются два или более источников вакуумного дугового испарения (называемых дуговыми источниками), это называется многодуговой ионно-ионнойcoating или multi-arccoating. Это технология вакуумного ионного покрытия, которая использует вакуумный дуговой разряд для источников испарения. В отличие от горячей электронной дуги разряда с полым катодом, его дуговая форма представляет собой образование катодных дуговых пятен на поверхности холодного катода.
Характеристики вакуумного катодного дугового ионаcoявляются:
(1) Источник испарения представляет собой твердую катодную мишень, которая напрямую генерирует плазму из катодной мишени без необходимости в расплавленной ванне. Дуговой целевой источник может быть расположен в любом направлении и иметь несколько источников для обеспечения равномерного покрытия.
(2) Структура оборудования относительно проста, без необходимости в рабочем газе или вспомогательных методах ионизации. Источник дуговой мишени является не только источником испарения для материала катода, но и источником ионов; Во время реактивного осаждения существует только реактивный газ, а атмосфера контролируется с помощью простого полного контроля давления.
(3) Скорость ионизации высока, обычно достигает 60–80%, а скорость осаждения высока.
(4) Энергия падающих ионов высока, а прочность связи между пленкой и подложкой осажденной пленки хорошая.
(5) Для безопасной эксплуатации используйте источник питания низкого напряжения.
(6) Он может наносить металлические пленки, пленки сплавов, реагировать и синтезировать различные составные пленки (соединения аммиака, карбиды, оксиды) и даже синтезировать пленки DLC, пленки CN и т. д. Его недостатком является то, что во время нанесения с целевой поверхности разбрызгиваются мельчайшие капли жидкости, которые конденсируются в покрытом слое пленки и увеличивают шероховатость слоя пленки. В настоящее время изучено много эффективных методов для уменьшения и устранения этих микрокапель.
Вакуумная дуга ионнаяcoТехнология ating широко используется для нанесения сверхтвердых защитных покрытий на инструменты и формы. Пленочные системы включают TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC и т. д. Покрываемые изделия включают инструменты, формы и т. д. Что касается имитации золота и цветных декоративных защитных покрытий, пленочные системы включают TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON и т. д. Цветные пленочные системы включают черный, черный, фиолетовый, коричневый, сине-зеленый, серый и т. д.
Многодуговой ионныйcoПокрытие имеет широкий спектр применения и высокую практичность, особенно при нанесении декоративных и износостойких твердых пленочных слоев на поверхности таких материалов, как режущие инструменты, формы и пластины из нержавеющей стали.
Время публикации: 17-авг-2023