Ce este acoperirea cu sursă de evaporare prin rezistență?

Acoperirea cu sursă de evaporare prin rezistență este o metodă de bază de acoperire prin evaporare în vid. „Evaporarea” se referă la o metodă de preparare a peliculei subțiri în care materialul de acoperire din camera de vid este încălzit și evaporat, astfel încât atomii sau moleculele materialului se vaporizează și scapă de suprafață, formând un fenomen de curgere a vaporilor, incident pe suprafața substratului sau a substratului și în final condensându-se pentru a forma o peliculă solidă.

Așa-numita metodă de acoperire cu sursă de evaporare prin rezistență constă în utilizarea tantalului, molibdenului, tungstenului și a altor metale cu punct de topire ridicat pentru a crea o sursă de evaporare de formă adecvată, care este încărcată cu materiale care urmează să fie evaporate, lăsată să curgă aerul, încălzind și evaporând direct materialele evaporate sau plasând materialele care urmează să fie evaporate în creuzete de alumină, oxid de beriliu și alte tipuri de creuzete pentru încălzire și evaporare indirectă. Aceasta este metoda de evaporare prin încălzire și evaporare prin rezistență.

Cel/Cea/Cei/Celemașină de acoperire cu evaporare în vidÎncălzirea și evaporarea prin rezistență prin încălzitor are avantajele unei structuri simple, cost redus și utilizare fiabilă. Poate fi utilizat pentru acoperirea prin evaporare a materialelor cu punct de topire scăzut, în special pentru producția de masă cu cerințe scăzute privind calitatea acoperirii. Până în prezent, există încă un număr mare de procese de acoperire cu încălzire prin rezistență și evaporare utilizate în producția de oglinzi aluminizate.

Dezavantajele metodei de acoperire prin evaporare cu sursă de evaporare prin rezistență sunt că temperatura maximă care poate fi atinsă prin încălzire este limitată, iar durata de viață a încălzitorului este, de asemenea, scurtă. În ultimii ani, pentru a îmbunătăți durata de viață a sursei de evaporare prin rezistență, fabricile de echipamente au adoptat ca sursă de evaporare materialul ceramic conductiv sintetizat din nitrură de bor cu o durată lungă de viață. Conform unui raport de brevet japonez, se pot utiliza materiale compuse din 20%~30% nitrură de bor și materiale refractare care pot fi fuzionate cu aceasta pentru a realiza sursa de evaporare (creuzet) și se poate acoperi suprafața acesteia cu un strat de zirconiu care conține 62%~82%, iar restul sunt materiale din aliaje de zirconiu-siliciu.