Ion cu arc catodic în vidcoating este abreviat ca arc de vidcoDacă se utilizează două sau mai multe surse de evaporare cu arc în vid (denumite surse cu arc), se numește evaporare cu ioni multi-arc.coarc ating sau multi-arccoEste o tehnologie de acoperire cu ioni în vid care utilizează descărcarea cu arc în vid pentru surse de evaporare. Spre deosebire de arcul de electroni fierbinți al descărcării catodice goale, forma sa de arc constă în formarea de pete de arc catodic pe suprafața catodului rece.
Caracteristicile ionului de arc catodic în vidcosunt:
(1) Sursa de evaporare este o țintă catodică solidă, care generează plasmă direct de la sursa țintă catodică, fără a fi nevoie de o baie de material topit. Sursa țintă cu arc poate fi amplasată în orice direcție și poate fi realizată cu mai multe surse pentru a asigura o acoperire uniformă.
(2) Structura echipamentului este relativ simplă, fără a fi nevoie de gaz de lucru sau metode auxiliare de ionizare. Sursa țintă a arcului nu este doar o sursă de evaporare pentru materialul catodic, ci și o sursă de ioni; În timpul depunerii reactive, există doar gaz reactiv, iar atmosfera este controlată folosind un simplu control al presiunii totale.
(3) Rata de ionizare este ridicată, ajungând în general la 60%~80%, iar rata de depunere este mare.
(4) Energia ionilor incidenti este ridicată, iar forța de legătură dintre filmul depus și substrat este bună.
(5) Utilizarea unei surse de alimentare de joasă tensiune pentru o funcționare în siguranță.
(6) Poate depune pelicule metalice, pelicule din aliaje, poate reacționa și sintetiza diverse pelicule compuse (compuși de amoniac, carburi, oxizi) și chiar poate sintetiza pelicule DLC, pelicule CN etc. Dezavantajul său este că, în timpul depunerii, picături minuscule de lichid sunt stropite de pe suprafața țintă, care se condensează în stratul de peliculă acoperit și cresc rugozitatea stratului de peliculă. În prezent, au fost studiate multe metode eficiente pentru a reduce și elimina aceste micro-picături.
Ion cu arc în vidcoTehnologia de acoperire a fost utilizată pe scară largă pentru acoperirea straturilor de protecție superdure pentru scule și matrițe. Sistemele de peliculă includ TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC etc. Produsele de acoperire includ scule, matrițe etc. În ceea ce privește imitațiile de aur și straturile de protecție decorative colorate, sistemele de peliculă includ TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON etc. Sistemele de peliculă color includ negru pistol, negru, violet, maro, albastru-verde-gri etc.
Ion cu arc multiplucoAcoperirea are o gamă largă de aplicații și o practicitate ridicată, în special în acoperirea straturilor decorative și rezistente la uzură de pe suprafețele materialelor, cum ar fi uneltele de tăiere, matrițele și plăcile din oțel inoxidabil.
Data publicării: 17 august 2023