O revestimento por fonte de evaporação por resistência é um método básico de revestimento por evaporação a vácuo. "Evaporação" refere-se a um método de preparação de película fina no qual o material de revestimento na câmara de vácuo é aquecido e evaporado, de modo que os átomos ou moléculas do material vaporizam e escapam da superfície, formando um fenômeno de fluxo de vapor, incidente na superfície do substrato ou substrato, e finalmente condensado para formar uma película sólida.
O chamado método de revestimento de fonte de evaporação por resistência consiste em utilizar tântalo, molibdênio, tungstênio e outros metais de alto ponto de fusão para criar uma fonte de evaporação com formato apropriado, que é carregada com os materiais a serem evaporados, permitindo a passagem do ar, aquecendo e evaporando diretamente os materiais evaporados, ou colocando os materiais a serem evaporados em cadinhos de alumina, óxido de berílio e outros para aquecimento e evaporação indiretos. Este é o método de evaporação por aquecimento por resistência.
Omáquina de revestimento por evaporação a vácuoO processo de aquecimento e evaporação por resistência apresenta as vantagens de estrutura simples, baixo custo e confiabilidade. Pode ser utilizado para revestimento por evaporação de materiais com baixo ponto de fusão, especialmente para produção em massa com baixos requisitos de qualidade do revestimento. Até o momento, ainda existe um grande número de processos de revestimento por resistência e evaporação utilizados na produção de espelhos aluminizados.
As desvantagens do método de revestimento por evaporação com fonte de evaporação por resistência são a limitação da temperatura máxima que pode ser atingida pelo aquecimento e a curta vida útil do aquecedor. Nos últimos anos, para aumentar a vida útil da fonte de evaporação por resistência, a fábrica de equipamentos adotou como fonte de evaporação um material cerâmico condutor sintetizado com nitreto de boro de longa vida útil. De acordo com um relatório de patente japonês, a fonte de evaporação (cadinho) pode ser feita com materiais compostos por 20% a 30% de nitreto de boro e materiais refratários que podem ser fundidos com ele. A superfície é revestida com uma camada de zircônio contendo 62% a 82%, sendo o restante composto por ligas de zircônio e silício.
Horário da publicação: 22/04/2023