Íon de arco de cátodo de vácuocoating é abreviado como arco de vácuocoating. Se duas ou mais fontes de evaporação de arco a vácuo (chamadas de fontes de arco) forem usadas, isso é chamado de íon de arco múltiplocoarco ating ou multicoAtingindo. É uma tecnologia de revestimento iônico a vácuo que utiliza descarga de arco a vácuo como fonte de evaporação. Ao contrário do arco de elétrons quentes da descarga de cátodo oco, sua forma de arco é a formação de pontos de arco catódico na superfície do cátodo frio.
As características do arco iônico do cátodo de vácuocoating são:
(1) A fonte de evaporação é um alvo catódico sólido, que gera plasma diretamente a partir da fonte do alvo catódico, sem a necessidade de uma poça de fusão. A fonte do alvo de arco pode ser disposta em qualquer direção e em múltiplas fontes para garantir um revestimento uniforme.
(2) A estrutura do equipamento é relativamente simples, sem a necessidade de gás de trabalho ou métodos auxiliares de ionização. A fonte de arco alvo não é apenas uma fonte de evaporação para o material catódico, mas também uma fonte de íons; durante a deposição reativa, existe apenas gás reativo, e a atmosfera é controlada por um simples controle de pressão total.
(3) A taxa de ionização é alta, geralmente atingindo 60% ~ 80%, e a taxa de deposição é alta.
(4) A energia do íon incidente é alta e a força de ligação do filme/substrato do filme depositado é boa.
(5) Use uma fonte de alimentação de baixa tensão para uma operação segura.
(6) Pode depositar filmes metálicos, filmes de liga, reagir e sintetizar diversos filmes compostos (compostos de amônia, carbonetos, óxidos) e até mesmo sintetizar filmes de DLC, filmes de CN, etc. Sua desvantagem é que, durante a deposição, pequenas gotas de líquido são espirradas da superfície alvo, condensando-se na camada de filme revestido, aumentando a rugosidade da camada de filme. Atualmente, muitos métodos eficazes têm sido estudados para reduzir e eliminar essas microgotas.
Íon de arco de vácuocoA tecnologia de revestimento tem sido amplamente utilizada para revestir revestimentos protetores superduros para ferramentas e moldes. Os sistemas de filme incluem TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, etc. Os produtos de revestimento incluem ferramentas, moldes, etc. Em termos de revestimentos protetores decorativos de imitação de ouro e cores, os sistemas de filme incluem TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, etc. Os sistemas de filme colorido incluem preto pistola, preto, roxo, marrom, azul, verde, cinza, etc.
Íon de arco múltiplocoA aplicação de revestimento tem uma ampla gama de aplicações e grande praticidade, especialmente no revestimento de camadas de películas duras decorativas e resistentes ao desgaste nas superfícies de materiais como ferramentas de corte, moldes e placas de aço inoxidável.
Data de publicação: 17/08/2023