Powłoka z parowaniem oporowym jest podstawową metodą powlekania metodą parowania próżniowego. „Parowanie” odnosi się do metody przygotowywania cienkich warstw, w której materiał powłoki w komorze próżniowej jest podgrzewany i odparowywany, tak że atomy lub cząsteczki materiału odparowują i uciekają z powierzchni, tworząc zjawisko przepływu pary, padające na powierzchnię podłoża lub substratu i ostatecznie skroplone w celu utworzenia stałej warstwy.
Tak zwana metoda powlekania źródła parowania oporowego polega na użyciu tantalu, molibdenu, wolframu i innych metali o wysokiej temperaturze topnienia w celu nadania odpowiedniego kształtu źródłu parowania, które jest wypełnione materiałami do odparowania, przepuszcza powietrze, bezpośrednio ogrzewa i odparowuje odparowane materiały lub umieszcza materiały do odparowania w tlenku glinu, tlenku berylu i innych tyglach w celu pośredniego ogrzewania i odparowywania. Jest to metoda parowania z ogrzewaniem oporowym.
Tenmaszyna do powlekania metodą parowania próżniowegopodgrzewany i odparowywany przez grzałkę oporową ma zalety prostej konstrukcji, niskich kosztów i niezawodnego użytkowania. Może być stosowany do powlekania parowego materiałów o niskiej temperaturze topnienia, zwłaszcza do produkcji masowej z niskimi wymaganiami co do jakości powłoki. Do tej pory w produkcji luster aluminiowanych wprowadzono do użytku dużą liczbę procesów powlekania przez podgrzewanie oporowe i odparowywanie.
Wady metody powlekania parowaniem oporowym polegają na tym, że maksymalna temperatura, jaką można osiągnąć przez ogrzewanie, jest ograniczona, a żywotność grzałki jest również krótka. W ostatnich latach, aby poprawić żywotność źródła parowania oporowego, fabryka sprzętu przyjęła przewodzący materiał ceramiczny syntetyzowany z azotku boru o długiej żywotności jako źródło parowania. Zgodnie z raportem japońskiego patentu, może on wykorzystywać materiały składające się z 20%~30% azotku boru i materiałów ogniotrwałych, które można z nim stopić, aby stworzyć źródło parowania (tygiel) i pokryć jego powierzchnię warstwą cyrkonu zawierającą 62%~82%, a reszta to materiały stopowe cyrkonu i krzemu.
Czas publikacji: 22-kwi-2023