ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਅਤੇ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ

ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਿੰਥੇਸਾਈਜ਼ਡ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਲਈ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਨੂੰ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਵਜੋਂ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਪੈਦਾ ਹੋਈ ਫਿਲਮ ਦੀ ਰਚਨਾ ਅਕਸਰ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਅਸਲ ਰਚਨਾ ਤੋਂ ਬਹੁਤ ਭਟਕ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸ ਲਈ ਅਸਲ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਨਹੀਂ ਕਰਦੀ। ਜੇਕਰ ਇੱਕ ਸ਼ੁੱਧ ਧਾਤ ਦਾ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਲੋੜੀਂਦੀ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸ (ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਆਕਸਾਈਡ ਫਿਲਮਾਂ ਤਿਆਰ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ ਆਕਸੀਜਨ) ਨੂੰ ਸੁਚੇਤ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੰਮ ਕਰਨ ਵਾਲੀ (ਡਿਸਚਾਰਜ) ਗੈਸ ਵਿੱਚ ਮਿਲਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਜੋ ਇਹ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਲਈ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਮੱਗਰੀ ਨਾਲ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰੇ ਜਿਸਨੂੰ ਇਸਦੀ ਰਚਨਾ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਵਿਧੀ ਨੂੰ ਅਕਸਰ "ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਸਪਟਰਿੰਗ" ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਪਹਿਲਾਂ ਦੱਸਿਆ ਗਿਆ ਹੈ, ਆਰਐਫ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫਿਲਮਾਂ ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਫਿਲਮਾਂ ਨੂੰ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਇੱਕ "ਸ਼ੁੱਧ" ਫਿਲਮ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ, ਇੱਕ "ਸ਼ੁੱਧ" ਟੀਚਾ, ਇੱਕ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਆਕਸਾਈਡ, ਨਾਈਟਰਾਈਡ, ਕਾਰਬਾਈਡ, ਜਾਂ ਹੋਰ ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਪਾਊਡਰ ਹੋਣਾ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ। ਇਹਨਾਂ ਪਾਊਡਰਾਂ ਨੂੰ ਇੱਕ ਖਾਸ ਆਕਾਰ ਦੇ ਨਿਸ਼ਾਨੇ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕਰਨ ਲਈ ਮੋਲਡਿੰਗ ਜਾਂ ਸਿੰਟਰਿੰਗ ਲਈ ਲੋੜੀਂਦੇ ਐਡਿਟਿਵ ਜੋੜਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਅਤੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਫਿਲਮ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਿੱਚ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਕਮੀ ਆਉਂਦੀ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵਿੱਚ, ਕਿਉਂਕਿ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀਆਂ ਧਾਤਾਂ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀਆਂ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਲਈ ਸੁਵਿਧਾਜਨਕ ਸਥਿਤੀਆਂ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕੀਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਹਾਲ ਹੀ ਦੇ ਸਾਲਾਂ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਸਪਟਰਿੰਗ ਨੂੰ ਵਧਦਾ ਧਿਆਨ ਮਿਲਿਆ ਹੈ ਅਤੇ ਇਹ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਦੀਆਂ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਇੱਕ ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਤਰੀਕਾ ਬਣ ਗਿਆ ਹੈ। ਇਸਦੀ ਵਰਤੋਂ IV, I- ਅਤੇ IV-V ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ, ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਰੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ, ਅਤੇ ਕਈ ਤਰ੍ਹਾਂ ਦੇ ਆਕਸਾਈਡਾਂ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ SiC ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੇ ਵਰਖਾ ਨੂੰ ਸ਼ੂਟ ਕਰਨ ਲਈ ਗੈਸਾਂ ਦੇ ਪੌਲੀਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ Si ਅਤੇ CH./Ar ਮਿਸ਼ਰਣ ਦੀ ਵਰਤੋਂ, TiN ਹਾਰਡ ਫਿਲਮਾਂ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ Ti ਟਾਰਗੇਟ ਅਤੇ N/Ar, TaO ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ Ta ਅਤੇ O/Ar; -FezO ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ, Fe ਅਤੇ O,/Ar; -FezO. ਰਿਕਾਰਡਿੰਗ ਫਿਲਮਾਂ, A1 ਅਤੇ N/Ar ਨਾਲ AIN ਪਾਈਜ਼ੋਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫਿਲਮਾਂ, AI ਅਤੇ CO/Ar ਨਾਲ A1-CO ਚੋਣਵੇਂ ਸੋਖਣ ਫਿਲਮਾਂ, ਅਤੇ Y-Ba-Cu ਅਤੇ O/Ar ਨਾਲ YBaCuO-ਸੁਪਰਕੰਡਕਟਿੰਗ ਫਿਲਮਾਂ, ਹੋਰਾਂ ਦੇ ਨਾਲ।

-ਇਹ ਲੇਖ ਇਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ