ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ସଂଶ୍ଳେଷିତ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ଯୌଗିକଗୁଡ଼ିକୁ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ। ତଥାପି, ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀର ସ୍ପଟରିଂ ପରେ ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ଫିଲ୍ମର ଗଠନ ପ୍ରାୟତଃ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀର ମୂଳ ଗଠନରୁ ବହୁତ ବିଚ୍ୟୁତ ହୁଏ, ଏବଂ ତେଣୁ ମୂଳ ଡିଜାଇନର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରେ ନାହିଁ। ଯଦି ଏକ ଶୁଦ୍ଧ ଧାତୁ ଟାର୍ଗେଟ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ତେବେ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ସକ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ (ଯଥା, ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ସମୟରେ ଅମ୍ଳଜାନ) ସଚେତନ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ (ଡିସଚାର୍ଜ) ଗ୍ୟାସରେ ମିଶ୍ରିତ ହୁଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଏହା ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଉତ୍ପାଦନ କରେ ଯାହାକୁ ଏହାର ଗଠନ ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା ଦୃଷ୍ଟିରୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ। ଏହି ପଦ୍ଧତିକୁ ପ୍ରାୟତଃ "ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସ୍ପଟରିଂ" କୁହାଯାଏ।
ପୂର୍ବରୁ ଉଲ୍ଲେଖ କରାଯାଇଥିବା ପରି, RF ସ୍ପଟରିଂ ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ଯୌଗିକ ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ। ତଥାପି, ଏକ "ଶୁଦ୍ଧ" ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ, ଏକ "ଶୁଦ୍ଧ" ଟାର୍ଗେଟ, ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଅକ୍ସାଇଡ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, କାର୍ବାଇଡ୍, କିମ୍ବା ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଯୌଗିକ ପାଉଡର ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଏହି ପାଉଡରଗୁଡ଼ିକୁ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଆକାରର ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳରେ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରିବା ପାଇଁ ମୋଲ୍ଡିଂ କିମ୍ବା ସିଣ୍ଟରିଂ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଯୋଗକ ଯୋଗ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ, ଯାହା ଫଳରେ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳ ଏବଂ ପରିଣାମସ୍ୱରୂପ ଫିଲ୍ମର ପବିତ୍ରତାରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ହ୍ରାସ ଘଟିଥାଏ। ତଥାପି, ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପଟରିଂରେ, ଯେହେତୁ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଧାତୁ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ୟାସ୍ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ସୁବିଧାଜନକ ପରିସ୍ଥିତି ପ୍ରଦାନ କରାଯାଏ। ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପଟରିଂ ସାମ୍ପ୍ରତିକ ବର୍ଷଗୁଡ଼ିକରେ ବର୍ଦ୍ଧିତ ଧ୍ୟାନ ପାଇଛି ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଯୌଗିକଗୁଡ଼ିକର ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଅବପାତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ପଦ୍ଧତି ପାଲଟିଛି। ଏହା IV, I- ଏବଂ IV-V ଯୌଗିକ, ଅପ୍ରତ୍ୟାଶୟ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ଅକ୍ସାଇଡ୍ ନିର୍ମାଣରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇଛି, ଯେପରିକି SiC ପତଳା ଫିଲ୍ମର ଅବପାତ ଶୁଟିଂ ପାଇଁ ପଲିକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍ Si ଏବଂ CH./Ar ଗ୍ୟାସ୍ ମିଶ୍ରଣ, TiN କଠିନ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତ ପାଇଁ Ti ଟାର୍ଗେଟ୍ ଏବଂ N/Ar, TaO ପ୍ରସ୍ତୁତ ପାଇଁ Ta ଏବଂ O/Ar; ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ପତଳା ଫିଲ୍ମ, -FezO ପ୍ରସ୍ତୁତ ପାଇଁ Fe ଏବଂ O,/Ar; -FezO ରେକର୍ଡିଂ ଫିଲ୍ମ, A1 ଏବଂ N/Ar ସହିତ AIN ପାଇଜୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଫିଲ୍ମ, AI ଏବଂ CO/Ar ସହିତ A1-CO ଚୟନାତ୍ମକ ଅବଶୋଷଣ ଫିଲ୍ମ, ଏବଂ Y-Ba-Cu ଏବଂ O/Ar ସହିତ YBaCuO-ସୁପରକଣ୍ଡକ୍ଟିଂ ଫିଲ୍ମ, ଅନ୍ୟମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜାନୁଆରୀ-୧୮-୨୦୨୪