ଭାକ୍ୟୁମ୍ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆର୍କ ଆୟନ୍coating କୁ ସଂକ୍ଷେପରେ vacuum arc କୁହାଯାଏcoଯଦି ଦୁଇ କିମ୍ବା ଅଧିକ ଶୂନ୍ୟ ଚାପ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ (ଯାହାକୁ ଚାପ ଉତ୍ସ କୁହାଯାଏ) ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ତେବେ ଏହାକୁ ମଲ୍ଟି ଚାପ ଆୟନ କୁହାଯାଏcoଆଟିଂ କିମ୍ବା ମଲ୍ଟି ଆର୍କcoଆଟିଂ। ଏହା ଏକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଯାହା ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ ପାଇଁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆର୍କ ଡିସଚାର୍ଜ ବ୍ୟବହାର କରେ। ଫମ୍ପା କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଡିସଚାର୍ଜର ଗରମ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ଆର୍କ ପରି ନୁହେଁ, ଏହାର ଆର୍କ ରୂପ ହେଉଛି ଥଣ୍ଡା କ୍ୟାଥୋଡ୍ ପୃଷ୍ଠରେ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆର୍କ ସ୍ପଟ୍ ଗଠନ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆର୍କ ଆୟନର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକcoଖାଦ୍ୟ ହେଉଛି:
(୧) ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ ହେଉଛି ଏକ କଠିନ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଲକ୍ଷ୍ୟ, ଯାହା ତରଳିତ ପୁଲର ଆବଶ୍ୟକତା ବିନା କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଉତ୍ସରୁ ସିଧାସଳଖ ପ୍ଲାଜମା ସୃଷ୍ଟି କରେ। ସମାନ ଆବରଣ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଆର୍କ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଉତ୍ସକୁ ଯେକୌଣସି ଦିଗରେ ଏବଂ ବହୁବିଧ ଉତ୍ସରେ ବ୍ୟବସ୍ଥା କରାଯାଇପାରିବ।
(୨) କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଗ୍ୟାସ୍ କିମ୍ବା ସହାୟକ ଆୟନାଇଜେସନ୍ ପଦ୍ଧତିର ଆବଶ୍ୟକତା ବିନା ଉପକରଣ ଗଠନ ଅପେକ୍ଷାକୃତ ସରଳ। ଆର୍କ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଉତ୍ସ କେବଳ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ ଏକ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ ନୁହେଁ, ବରଂ ଏକ ଆୟନ୍ ଉତ୍ସ ମଧ୍ୟ; ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଜମା ସମୟରେ, କେବଳ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ୍ ରହିଥାଏ, ଏବଂ ଏକ ସରଳ ପୂର୍ଣ୍ଣ ଚାପ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ବ୍ୟବହାର କରି ବାୟୁମଣ୍ଡଳ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୁଏ।
(3) ଆୟନାଇଜେସନ ହାର ଅଧିକ, ସାଧାରଣତଃ 60% ~ 80% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚେ, ଏବଂ ଜମା ହାର ଅଧିକ।
(୪) ଆକସ୍ମିକ ଆୟନ ଶକ୍ତି ଅଧିକ, ଏବଂ ଜମା ହୋଇଥିବା ଫିଲ୍ମର ଫିଲ୍ମ/ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବନ୍ଧନ ଶକ୍ତି ଭଲ।
(୫) ନିରାପଦ କାର୍ଯ୍ୟ ପାଇଁ କମ୍ ଭୋଲଟେଜ ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ବ୍ୟବହାର କରିବା।
(୬) ଏହା ଧାତୁ ଫିଲ୍ମ, ମିଶ୍ରଧାତୁ ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିପାରିବ, ବିଭିନ୍ନ ଯୌଗିକ ଫିଲ୍ମ (ଆମୋନିଆ ଯୌଗିକ, କାର୍ବାଇଡ୍, ଅକ୍ସାଇଡ୍) ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ସଂଶ୍ଳେଷଣ କରିପାରିବ, ଏବଂ ଏପରିକି DLC ଫିଲ୍ମ, CN ଫିଲ୍ମ, ଇତ୍ୟାଦିକୁ ସଂଶ୍ଳେଷଣ କରିପାରିବ। ଏହାର ଅସୁବିଧା ହେଉଛି ଯେ ଜମା ସମୟରେ, ଲକ୍ଷ୍ୟ ପୃଷ୍ଠରୁ ତରଳର ଛୋଟ ଛୋଟ ବୁନ୍ଦା ଛିଟା ପଡ଼ିଥାଏ, ଯାହା ଆବୃତ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରରେ ଘନୀଭୂତ ହୁଏ ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ରୁକ୍ଷତା ବୃଦ୍ଧି କରେ। ବର୍ତ୍ତମାନ, ଏହି ସୂକ୍ଷ୍ମ ବୁନ୍ଦାଗୁଡ଼ିକୁ ହ୍ରାସ ଏବଂ ଦୂର କରିବା ପାଇଁ ଅନେକ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ପଦ୍ଧତି ଅଧ୍ୟୟନ କରାଯାଇଛି।
ଶୂନ୍ୟ ଆର୍କ ଆୟନcoଉପକରଣ ଏବଂ ଛାଞ୍ଚ ପାଇଁ ସୁପରହାର୍ଡ ସୁରକ୍ଷା ଆବରଣ ଆବରଣ କରିବା ପାଇଁ ଏଟିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇଛି। ଫିଲ୍ମ ସିଷ୍ଟମଗୁଡ଼ିକରେ TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଆବରଣ ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକରେ ଉପକରଣ, ଛାଞ୍ଚ ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଅନୁକରଣ ସୁନା ଏବଂ ରଙ୍ଗ ସାଜସଜ୍ଜା ସୁରକ୍ଷା ଆବରଣ ଦୃଷ୍ଟିରୁ, ଫିଲ୍ମ ସିଷ୍ଟମଗୁଡ଼ିକରେ TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ରଙ୍ଗ ଫିଲ୍ମ ସିଷ୍ଟମଗୁଡ଼ିକରେ ବନ୍ଧୁକ କଳା, କଳା, ବାଇଗଣୀ, ମାଟିଆ, ନୀଳ ସବୁଜ ଧୂସର, ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
ମଲ୍ଟି ଆର୍କ ଆୟନcoଆଟିଂର ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ପ୍ରୟୋଗ ଏବଂ ଦୃଢ଼ ବ୍ୟବହାରିକତା ଅଛି, ବିଶେଷକରି କଟିଂ ଉପକରଣ, ଛାଞ୍ଚ ଏବଂ ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ ପ୍ଲେଟ୍ ଭଳି ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠରେ ସାଜସଜ୍ଜା ଏବଂ ପରିଧାନ-ପ୍ରତିରୋଧୀ କଠିନ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ଆବରଣ କରିବାରେ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅଗଷ୍ଟ-୧୭-୨୦୨୩