Vakuumkatodebueioncoating forkortes som vakuumbuecoHvis to eller flere vakuumbuefordampningskilder (referert til som buekilder) brukes, kalles det multibueionering.coating eller multibuecoDet er en vakuumionbeleggteknologi som bruker vakuumbueutladning for fordampningskilder. I motsetning til den varme elektronbuen i hul katodeutladning, er bueformen dannelsen av katodebueflekker på overflaten av den kalde katoden.
Egenskapene til vakuumkatodebueioncospiser er:
(1) Fordampningskilden er et fast katodemål, som genererer plasma direkte fra katodemålkilden uten behov for et smeltebad. Lysbuemålkilden kan arrangeres i alle retninger og fra flere kilder for å sikre jevnt belegg.
(2) Utstyrsstrukturen er relativt enkel, uten behov for arbeidsgass eller hjelpeioniseringsmetoder. Lysbuekilden er ikke bare en fordampningskilde for katodematerialet, men også en ionkilde. Under reaktiv avsetning finnes det bare reaktiv gass, og atmosfæren kontrolleres ved hjelp av en enkel full trykkkontroll.
(3) Ioniseringsraten er høy, vanligvis 60 % ~ 80 %, og avsetningsraten er høy.
(4) Den innfallende ionenergien er høy, og film/substrat-bindingskraften til den avsatte filmen er god.
(5) Bruk av lavspent strømforsyning for sikker drift.
(6) Den kan avsette metallfilmer, legeringsfilmer, reagere og syntetisere forskjellige sammensatte filmer (ammoniakkforbindelser, karbider, oksider), og til og med syntetisere DLC-filmer, CN-filmer, osv. Ulempen er at under avsetning sprutes små væskedråper fra måloverflaten, som kondenserer i det belagte filmlaget og øker ruheten til filmlaget. For tiden har mange effektive metoder blitt studert for å redusere og eliminere disse mikrodråpene.
VakuumbueioncoBelegningsteknologi har blitt mye brukt til å belegge superharde beskyttende belegg for verktøy og former. Filmsystemer inkluderer TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, etc. Beleggsprodukter inkluderer verktøy, former, etc. Når det gjelder imitert gull og fargede dekorative beskyttende belegg, inkluderer filmsystemer TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, etc. Fargefilmsystemer inkluderer pistolsvart, svart, lilla, brun, blågrønn grå, etc.
Multibue-ioncoAting har et bredt spekter av bruksområder og er svært praktisk, spesielt for å belegge dekorative og slitesterke harde filmlag på overflater av materialer som skjæreverktøy, former og plater av rustfritt stål.
Publisert: 17. august 2023