Weerstandverdampingsbroncoating is een basismethode voor vacuümverdamping. "Verdamping" verwijst naar een dunnefilmbereidingsmethode waarbij het coatingmateriaal in de vacuümkamer wordt verhit en verdampt, waardoor de materiaalatomen of -moleculen verdampen en van het oppervlak ontsnappen, waardoor een dampstroom ontstaat die op het oppervlak van het substraat of substraat valt en uiteindelijk condenseert tot een vaste film.
De zogenaamde weerstandsverdampingsmethode voor broncoating bestaat uit het gebruiken van tantaal, molybdeen, wolfraam en andere metalen met een hoog smeltpunt om een geschikte vorm van een verdampingsbron te maken. Deze wordt gevuld met te verdampen materialen, laat er lucht doorheen stromen en verdampt de verdampte materialen direct, of plaatst de te verdampen materialen in aluminiumoxide, berylliumoxide en andere smeltkroezen voor indirecte verhitting en verdamping. Dit is de weerstandsverdampingsmethode.
DevacuümverdampingscoatingmachineVerwarmen en verdampen door weerstandsverwarmers heeft de voordelen van een eenvoudige structuur, lage kosten en betrouwbaar gebruik. Het kan worden gebruikt voor verdampingscoating van materialen met een laag smeltpunt, met name voor massaproductie met lage eisen aan de coatingkwaliteit. Tot op heden worden er nog steeds veel coatingprocessen met weerstandsverhitting en verdamping toegepast bij de productie van gealuminiseerde spiegels.
De nadelen van de verdampingscoatingmethode met weerstandsverdampingsbronnen zijn dat de maximale temperatuur die door verhitting kan worden bereikt beperkt is en de levensduur van de verwarmer eveneens kort is. Om de levensduur van de weerstandsverdampingsbron te verbeteren, heeft de apparatuurfabriek de afgelopen jaren geleidend keramisch materiaal, gesynthetiseerd met boornitride en een lange levensduur, als verdampingsbron gebruikt. Volgens een Japans patentrapport kan het materialen gebruiken die bestaan uit 20% tot 30% boornitride en vuurvaste materialen die daarmee kunnen worden versmolten om de verdampingsbron (kroes) te maken, en het oppervlak ervan te coaten met een laag zirkonium met 62% tot 82%, terwijl de rest bestaat uit zirkonium-siliciumlegeringen.
Plaatsingstijd: 22-04-2023