Vacuümkathodeboogioncoating wordt afgekort als vacuümboogcoAls er twee of meer vacuümboogverdampingsbronnen (ook wel boogbronnen genoemd) worden gebruikt, spreekt men van multiboogionisatie.coating of multiboogcoHet is een vacuüm-ioncoatingtechnologie die gebruikmaakt van vacuümboogontlading voor verdampingsbronnen. In tegenstelling tot de hete elektronenboog van holle-kathodeontlading, is de boogvorm de vorming van kathodeboogvlekken op het oppervlak van de koude kathode.
De kenmerken van vacuümkathodeboogionencozijn:
(1) De verdampingsbron is een vast kathodedoel, dat plasma rechtstreeks vanuit de kathodedoelbron genereert zonder dat er een smeltbad nodig is. De boogdoelbron kan in elke gewenste richting en met meerdere bronnen worden geplaatst om een gelijkmatige coating te garanderen.
(2) De structuur van de apparatuur is relatief eenvoudig, zonder de noodzaak van werkgas of hulp-ionisatiemethoden. De boogdoelbron is niet alleen een verdampingsbron voor het kathodemateriaal, maar ook een ionenbron; tijdens reactieve depositie bestaat alleen reactief gas en wordt de atmosfeer geregeld met een eenvoudige volledige drukregeling.
(3) Het ionisatiepercentage is hoog en bereikt doorgaans 60%~80%, en het depositiepercentage is hoog.
(4) De invallende ionenenergie is hoog en de bindingskracht van de afgezette film tussen film en substraat is goed.
(5) Het gebruik van een laagspanningsvoeding voor een veilige werking.
(6) Het kan metaalfilms en legeringsfilms deponeren, reageren en diverse samengestelde films (ammoniakverbindingen, carbiden, oxiden) synthetiseren, en zelfs DLC-films, CN-films, enz. synthetiseren. Het nadeel is dat tijdens de depositie kleine vloeistofdruppeltjes van het doeloppervlak spatten, die condenseren in de gecoate filmlaag en de ruwheid van de filmlaag vergroten. Momenteel zijn er veel effectieve methoden bestudeerd om deze microdruppeltjes te verminderen en te elimineren.
VacuümboogioncoDe coatingtechnologie wordt veel gebruikt voor het aanbrengen van superharde beschermende coatings op gereedschappen en mallen. Filmsystemen omvatten TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, enz. Coatingproducten omvatten gereedschappen, mallen, enz. Wat betreft imitatiegoud en decoratieve beschermende coatings in kleur, omvatten filmsystemen TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, enz. Kleurfilmsystemen omvatten pistoolzwart, zwart, paars, bruin, blauw, groen, grijs, enz.
Multi-boog ioncoToepassingen van lassen zijn breed en praktisch, met name voor het aanbrengen van decoratieve en slijtvaste harde filmlagen op de oppervlakken van materialen zoals snijgereedschappen, mallen en roestvrijstalen platen.
Geplaatst op: 17-08-2023