भ्याकुम क्याथोड आर्क आयनcoating लाई संक्षिप्त रूपमा भ्याकुम आर्क भनिन्छ।coयदि दुई वा बढी भ्याकुम आर्क वाष्पीकरण स्रोतहरू (जसलाई आर्क स्रोतहरू भनिन्छ) प्रयोग गरिन्छ भने, यसलाई बहु आर्क आयन भनिन्छ।coएटिंग वा मल्टि आर्कcoयो एक भ्याकुम आयन कोटिंग प्रविधि हो जसले वाष्पीकरण स्रोतहरूको लागि भ्याकुम आर्क डिस्चार्ज प्रयोग गर्दछ। खोक्रो क्याथोड डिस्चार्जको तातो इलेक्ट्रोन आर्क भन्दा फरक, यसको आर्क रूप चिसो क्याथोडको सतहमा क्याथोड आर्क स्पटहरूको गठन हो।
भ्याकुम क्याथोड आर्क आयनका विशेषताहरूcoखानेकुराहरू हुन्:
(१) वाष्पीकरण स्रोत एक ठोस क्याथोड लक्ष्य हो, जसले पग्लिएको पोखरीको आवश्यकता बिना नै क्याथोड लक्ष्य स्रोतबाट सिधै प्लाज्मा उत्पन्न गर्दछ। एकरूप कोटिंग सुनिश्चित गर्न चाप लक्ष्य स्रोतलाई कुनै पनि दिशामा र धेरै स्रोतहरूमा व्यवस्थित गर्न सकिन्छ।
(२) उपकरण संरचना अपेक्षाकृत सरल छ, काम गर्ने ग्यास वा सहायक आयनीकरण विधिहरूको आवश्यकता बिना। चाप लक्ष्य स्रोत क्याथोड सामग्रीको लागि वाष्पीकरण स्रोत मात्र होइन, तर आयन स्रोत पनि हो; प्रतिक्रियाशील निक्षेपणको समयमा, केवल प्रतिक्रियाशील ग्यास अवस्थित हुन्छ, र वातावरणलाई साधारण पूर्ण दबाव नियन्त्रण प्रयोग गरेर नियन्त्रण गरिन्छ।
(३) आयनीकरण दर उच्च छ, सामान्यतया ६०% ~ ८०% पुग्छ, र निक्षेपण दर उच्च छ।
(४) घटना आयन ऊर्जा उच्च छ, र जम्मा गरिएको फिल्मको फिल्म/सब्सट्रेट बन्धन बल राम्रो छ।
(५) सुरक्षित सञ्चालनको लागि कम भोल्टेज भएको पावर सप्लाई प्रयोग गर्ने।
(६) यसले धातुका फिल्महरू, मिश्र धातुका फिल्महरू जम्मा गर्न सक्छ, विभिन्न यौगिक फिल्महरू (अमोनिया यौगिकहरू, कार्बाइडहरू, अक्साइडहरू) प्रतिक्रिया र संश्लेषण गर्न सक्छ, र DLC फिल्महरू, CN फिल्महरू, आदि पनि संश्लेषण गर्न सक्छ। यसको बेफाइदा यो हो कि निक्षेपणको क्रममा, तरल पदार्थका साना थोपाहरू लक्षित सतहबाट छर्किन्छन्, जुन लेपित फिल्म तहमा गाढा हुन्छन् र फिल्म तहको खस्रोपन बढाउँछन्। हाल, यी सूक्ष्म थोपाहरूलाई कम गर्न र हटाउन धेरै प्रभावकारी विधिहरूको अध्ययन गरिएको छ।
भ्याकुम आर्क आयनcoउपकरण र मोल्डहरूको लागि सुपरहार्ड सुरक्षात्मक कोटिंगहरू कोट गर्न एटिंग प्रविधि व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको छ। फिल्म प्रणालीहरूमा TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, आदि समावेश छन्। कोटिंग उत्पादनहरूमा उपकरणहरू, मोल्डहरू, आदि समावेश छन्। नक्कल सुन र रंग सजावटी सुरक्षात्मक कोटिंगहरूको सन्दर्भमा, फिल्म प्रणालीहरूमा TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, आदि समावेश छन्। रंगीन फिल्म प्रणालीहरूमा बन्दुक कालो, कालो, बैजनी, खैरो, नीलो हरियो खैरो, आदि समावेश छन्।
बहु-चाप आयनcoएटिङ्गमा विस्तृत दायराका अनुप्रयोगहरू र बलियो व्यावहारिकता छ, विशेष गरी काट्ने उपकरणहरू, मोल्डहरू, र स्टेनलेस स्टील प्लेटहरू जस्ता सामग्रीहरूको सतहहरूमा सजावटी र पहिरन-प्रतिरोधी कडा फिल्म तहहरू कोटिंगमा।
पोस्ट समय: अगस्ट-१७-२०२३