X'inhu kisi tas-sors tal-evaporazzjoni tar-reżistenza?

Il-kisi tas-sors tal-evaporazzjoni tar-reżistenza huwa metodu bażiku ta' kisi tal-evaporazzjoni bil-vakwu. "Evaporazzjoni" tirreferi għal metodu ta' preparazzjoni ta' film irqiq fejn il-materjal tal-kisi fil-kamra tal-vakwu jissaħħan u jevapora, sabiex l-atomi jew il-molekuli tal-materjal jivvaporizzaw u jaħarbu mill-wiċċ, u jiffurmaw fenomenu ta' fluss tal-fwar, inċident fuq il-wiċċ tas-sottostrat jew tas-sottostrat, u finalment ikkondensati biex jiffurmaw film solidu.

L-hekk imsejjaħ metodu ta' kisi tas-sors ta' evaporazzjoni b'reżistenza huwa li jintuża tantalu, molibdenu, tungstenu u metalli oħra b'punt ta' tidwib għoli biex tinħoloq forma xierqa ta' sors ta' evaporazzjoni, li huwa mgħobbi b'materjali li għandhom jiġu evaporati, iħalli l-arja tgħaddi minn ġo fih, isaħħan u jevapora direttament il-materjali evaporati, jew ipoġġi l-materjali li għandhom jiġu evaporati f'alumina, ossidu tal-berillju u griġjoli oħra għal tisħin u evaporazzjoni indiretti. Dan huwa l-metodu ta' evaporazzjoni bit-tisħin b'reżistenza.

Il-magna tal-kisi tal-evaporazzjoni bil-vakwuIt-tisħin u l-evaporazzjoni permezz ta' ħiter tar-reżistenza għandhom il-vantaġġi ta' struttura sempliċi, spiża baxxa u użu affidabbli. Jista' jintuża għall-kisi bl-evaporazzjoni ta' materjali b'punt ta' tidwib baxx, speċjalment għall-produzzjoni tal-massa b'rekwiżiti baxxi għall-kwalità tal-kisi. S'issa, għad hemm numru kbir ta' proċessi ta' kisi ta' tisħin bir-reżistenza u evaporazzjoni li jintużaw fil-produzzjoni ta' mirja aluminizzati.

L-iżvantaġġi tal-metodu ta' kisi tal-evaporazzjoni tas-sors tal-evaporazzjoni tar-reżistenza huma li t-temperatura massima li tista' tintlaħaq bit-tisħin hija limitata, u l-ħajja tas-servizz tal-ħiter hija wkoll qasira. Fi snin reċenti, sabiex tittejjeb il-ħajja tas-sors tal-evaporazzjoni tar-reżistenza, il-fabbrika tat-tagħmir adottat il-materjal taċ-ċeramika konduttiva sintetizzata minn nitrur tal-boron b'ħajja twila bħala s-sors tal-evaporazzjoni. Skont rapport ta' brevett Ġappuniż, jista' juża materjali magħmula minn 20% ~ 30% nitrur tal-boron u materjali refrattorji li jistgħu jiġu mdewba miegħu biex jagħmel is-sors tal-evaporazzjoni (griġjol), u jiksi l-wiċċ tiegħu b'saff ta' żirkonju li fih 62% ~ 82%, u l-bqija huma materjali tal-liga taż-żirkonju-silikon.