Fil-proċess ta' kisi bl-isputtering, il-komposti jistgħu jintużaw bħala miri għall-preparazzjoni ta' films sintetizzati kimikament. Madankollu, il-kompożizzjoni tal-film iġġenerat wara l-isputtering tal-materjal fil-mira ħafna drabi tiddevja ħafna mill-kompożizzjoni oriġinali tal-materjal fil-mira, u għalhekk ma tissodisfax ir-rekwiżiti tad-disinn oriġinali. Jekk tintuża mira ta' metall pur, il-gass attiv meħtieġ (eż., ossiġnu meta jiġu ppreparati films tal-ossidu) jitħallat konxjament mal-gass tax-xogħol (ta' skarika), sabiex jirreaġixxi kimikament mal-materjal fil-mira biex jipproduċi film irqiq li jista' jiġi kkontrollat f'termini tal-kompożizzjoni u l-karatteristiċi tiegħu. Dan il-metodu ħafna drabi jissejjaħ "sputtering ta' reazzjoni".
Kif imsemmi qabel, l-isputtering RF jista' jintuża biex jiddepożita films dielettriċi u diversi films komposti. Madankollu, sabiex jiġi ppreparat film "pur", huwa meħtieġ li jkun hemm mira "pura", ossidu ta' purità għolja, nitrid, karbur, jew trab kompost ieħor. L-ipproċessar ta' dawn it-trabijiet f'mira ta' ċerta forma jeħtieġ iż-żieda ta' addittivi meħtieġa għall-iffurmar jew is-sinterizzazzjoni, li jirriżulta fi tnaqqis sinifikanti fil-purità tal-mira u l-film li jirriżulta. Madankollu, fl-isputtering reattiv, peress li jistgħu jintużaw metalli ta' purità għolja u gassijiet ta' purità għolja, jiġu pprovduti kundizzjonijiet konvenjenti għall-preparazzjoni ta' films ta' purità għolja. L-isputtering reattiv irċieva attenzjoni dejjem akbar f'dawn l-aħħar snin u sar metodu ewlieni għall-preċipitazzjoni ta' films irqaq ta' diversi komposti funzjonali. Intuża ħafna fil-manifattura ta' komposti IV, I- u IV-V, semikondutturi refrattorji, u varjetà ta' ossidi, bħall-użu ta' taħlita ta' gassijiet polikristallini Si u CH₄/Ar biex tiġi sparata l-preċipitazzjoni ta' films irqaq SiC, mira Ti u N/Ar biex jiġu ppreparati films iebsin TiN, Ta u O/Ar biex jiġi ppreparat TaO₂; films irqaq dielettriċi, Fe u O₂/Ar biex jiġi ppreparat -FezO₂; films ta' reġistrazzjoni -FezO₂, films pjeżoelettriċi AIN b'A1 u N/Ar, films ta' assorbiment selettiv A1-CO b'AI u CO/Ar, u films superkonduttivi YBaCuO b'Y-Ba-Cu u O/Ar, fost oħrajn.
–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: 18 ta' Jannar 2024