Jone tal-ark tal-katodu tal-vakwucoating hija mqassra bħala ark tal-vakwucoating. Jekk jintużaw żewġ sorsi jew aktar ta' evaporazzjoni bl-ark bil-vakwu (imsejħa sorsi tal-ark), dan jissejjaħ joni b'ark multiplucoark ating jew multicoating. Hija teknoloġija ta' kisi tal-jone bil-vakwu li tuża skariku tal-ark bil-vakwu għal sorsi ta' evaporazzjoni. B'differenza mill-ark elettroniku sħun tal-iskariku tal-katodu vojt, il-forma tal-ark tagħha hija l-formazzjoni ta' tikek tal-ark katodu fuq il-wiċċ tal-katodu kiesaħ.
Il-karatteristiċi tal-jone tal-ark tal-katodu tal-vakwucoating huma:
(1) Is-sors tal-evaporazzjoni huwa mira katodika solida, li tiġġenera direttament il-plażma mis-sors tal-mira katodika mingħajr il-ħtieġa ta' ġabra mdewba. Is-sors tal-mira tal-ark jista' jiġi rranġat fi kwalunkwe direzzjoni u b'sorsi multipli biex jiżgura kisi uniformi.
(2) L-istruttura tat-tagħmir hija relattivament sempliċi, mingħajr il-ħtieġa għal gass tax-xogħol jew metodi awżiljarji ta' jonizzazzjoni. Is-sors tal-mira tal-ark mhux biss sors ta' evaporazzjoni għall-materjal tal-katodu, iżda wkoll sors ta' joni; Matul id-depożizzjoni reattiva, jeżisti biss gass reattiv, u l-atmosfera hija kkontrollata bl-użu ta' kontroll sempliċi tal-pressjoni sħiħa.
(3) Ir-rata ta' jonizzazzjoni hija għolja, ġeneralment tilħaq 60% ~ 80%, u r-rata ta' depożizzjoni hija għolja.
(4) L-enerġija tal-jone inċidentali hija għolja, u l-forza ta' twaħħil tal-film/sottostrat tal-film depożitat hija tajba.
(5) L-użu ta' provvista ta' enerġija ta' vultaġġ baxx għal tħaddim sikur.
(6) Jista' jiddepożita films tal-metall, films tal-liga, jirreaġixxi u jissintetizza diversi films komposti (komposti tal-ammonja, karburi, ossidi), u saħansitra jissintetizza films DLC, films CN, eċċ. L-iżvantaġġ tiegħu huwa li waqt id-depożizzjoni, qtar żgħar ta' likwidu jiġu mxerrda mill-wiċċ fil-mira, li jikkondensaw fis-saff tal-film miksi u jżidu l-ħruxija tas-saff tal-film. Bħalissa, ġew studjati ħafna metodi effettivi biex jitnaqqsu u jiġu eliminati dawn il-mikro qtar.
Jonju tal-ark tal-vakwucoIt-teknoloġija tal-kisi intużat ħafna biex tiksi kisi protettiv superiebsin għal għodod u forom. Is-sistemi tal-film jinkludu TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, eċċ. Il-prodotti tal-kisi jinkludu għodod, forom, eċċ. F'termini ta' imitazzjoni tad-deheb u kisi protettiv dekorattiv bil-kulur, is-sistemi tal-film jinkludu TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, eċċ. Is-sistemi tal-film bil-kulur jinkludu iswed kanun, iswed, vjola, kannella, blu, aħdar griż, eċċ.
Jonju b'ħafna arkijietcoL-ating għandu firxa wiesgħa ta' applikazzjonijiet u prattiċità qawwija, speċjalment fil-kisi ta' saffi ta' film iebes dekorattivi u reżistenti għall-użu fuq l-uċuħ ta' materjali bħal għodod tat-tqattigħ, forom, u pjanċi tal-istainless steel.
Ħin tal-posta: 17 ta' Awwissu 2023