Ion arka katod vakumcoating disingkatkan sebagai arka vakumcoating. Jika dua atau lebih sumber penyejatan arka vakum (dirujuk sebagai sumber arka) digunakan, ia dipanggil ion berbilang arkacoating atau berbilang arkacoating. Ia adalah teknologi salutan ion vakum yang menggunakan nyahcas arka vakum untuk sumber penyejatan. Tidak seperti arka elektron panas nyahcas katod berongga, bentuk arkanya ialah pembentukan bintik arka katod pada permukaan katod sejuk.
Ciri-ciri ion arka katod vakumcoadalah:
(1) Sumber penyejatan adalah sasaran katod pepejal, yang secara langsung menjana plasma daripada sumber sasaran katod tanpa memerlukan kolam lebur. Sumber sasaran arka boleh disusun dalam mana-mana arah dan pelbagai sumber untuk memastikan salutan seragam.
(2) Struktur peralatan agak mudah, tanpa memerlukan kaedah pengionan gas atau tambahan. Sumber sasaran arka bukan sahaja sumber penyejatan untuk bahan katod, tetapi juga sumber ion; Semasa pemendapan reaktif, hanya gas reaktif wujud, dan atmosfera dikawal menggunakan kawalan tekanan penuh yang mudah.
(3) Kadar pengionan adalah tinggi, secara amnya mencapai 60% ~ 80%, dan kadar pemendapan adalah tinggi.
(4) Tenaga ion kejadian adalah tinggi, dan daya ikatan filem/substrat filem termendap adalah baik.
(5) Menggunakan bekalan kuasa voltan rendah untuk operasi yang selamat.
(6) Ia boleh mendepositkan filem logam, filem aloi, bertindak balas dan mensintesis pelbagai filem kompaun (sebatian ammonia, karbida, oksida), dan juga mensintesis filem DLC, filem CN, dan lain-lain. Kelemahannya ialah semasa pemendapan, titisan cecair kecil disimbah dari permukaan sasaran, yang memewap dalam lapisan filem bersalut yang lebih kasar dan lapisan filem yang kasar. Pada masa ini, banyak kaedah berkesan telah dikaji untuk mengurangkan dan menghapuskan titisan mikro ini.
Ion arka vakumcoteknologi telah digunakan secara meluas untuk menyalut salutan pelindung superhard untuk alatan dan acuan. Sistem filem termasuk TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, dsb. Produk salutan termasuk alatan, acuan, dsb. Dari segi lapisan pelindung hiasan emas tiruan dan warna, sistem filem termasuk TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, sistem filem hitam, dll. coklat, biru Hijau kelabu, dsb.
Ion berbilang arkacoating mempunyai pelbagai aplikasi dan kepraktisan yang kukuh, terutamanya dalam menyalut lapisan filem keras hiasan dan tahan haus pada permukaan bahan seperti alat pemotong, acuan dan plat keluli tahan karat.
Masa siaran: 17 Ogos 2023