प्रतिरोधक बाष्पीभवन स्त्रोत कोटिंग ही एक मूलभूत व्हॅक्यूम बाष्पीभवन कोटिंग पद्धत आहे. "बाष्पीभवन" म्हणजे पातळ फिल्म तयार करण्याची पद्धत ज्यामध्ये व्हॅक्यूम चेंबरमधील कोटिंग सामग्री गरम केली जाते आणि बाष्पीभवन केले जाते, ज्यामुळे पदार्थाचे अणू किंवा रेणू बाष्पीभवन होतात आणि पृष्ठभागावरून बाहेर पडतात, ज्यामुळे बाष्प प्रवाहाची घटना तयार होते, सब्सट्रेट किंवा सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर घटना घडते आणि शेवटी घनरूप होऊन एक घन फिल्म तयार होते.
तथाकथित प्रतिरोधक बाष्पीभवन स्रोत कोटिंग पद्धत म्हणजे टॅंटलम, मोलिब्डेनम, टंगस्टन आणि इतर उच्च वितळण्याच्या बिंदू धातूंचा वापर करून बाष्पीभवन स्त्रोताचा योग्य आकार तयार करणे, ज्यामध्ये बाष्पीभवन करायच्या पदार्थांनी भरलेले असते, हवा वाहू द्यायच्या असतात, बाष्पीभवन झालेल्या पदार्थांचे थेट उष्णता आणि बाष्पीभवन होते किंवा बाष्पीभवन करायच्या पदार्थांना अप्रत्यक्ष गरम आणि बाष्पीभवनासाठी अॅल्युमिना, बेरिलियम ऑक्साईड आणि इतर क्रूसिबलमध्ये टाकणे. ही प्रतिरोधक तापवण्याची बाष्पीभवन पद्धत आहे.
दव्हॅक्यूम बाष्पीभवन कोटिंग मशीनरेझिस्टन्स हीटरद्वारे गरम आणि बाष्पीभवन केल्याने साधी रचना, कमी खर्च आणि विश्वासार्ह वापर हे फायदे आहेत. कमी वितळण्याच्या बिंदू असलेल्या पदार्थांच्या बाष्पीभवन कोटिंगसाठी याचा वापर केला जाऊ शकतो, विशेषतः कोटिंगच्या गुणवत्तेसाठी कमी आवश्यकता असलेल्या मोठ्या प्रमाणात उत्पादनासाठी. आतापर्यंत, अॅल्युमिनाइज्ड आरशांच्या उत्पादनात रेझिस्टन्स हीटिंग आणि बाष्पीभवनाच्या मोठ्या प्रमाणात कोटिंग प्रक्रिया वापरल्या जात आहेत.
प्रतिरोधक बाष्पीभवन स्रोत बाष्पीभवन कोटिंग पद्धतीचे तोटे म्हणजे गरम करून पोहोचता येणारे कमाल तापमान मर्यादित असते आणि हीटरचे सेवा आयुष्य देखील कमी असते. अलिकडच्या वर्षांत, प्रतिरोधक बाष्पीभवन स्त्रोताचे आयुष्य सुधारण्यासाठी, उपकरण कारखान्याने बोरॉन नायट्राइडद्वारे संश्लेषित केलेले दीर्घ आयुष्यमान असलेले प्रवाहकीय सिरेमिक साहित्य बाष्पीभवन स्त्रोत म्हणून स्वीकारले आहे. जपानी पेटंट अहवालानुसार, ते बाष्पीभवन स्रोत (क्रूसिबल) बनवण्यासाठी २०%~३०% बोरॉन नायट्राइड आणि त्याच्याशी जोडले जाऊ शकणारे रेफ्रेक्ट्री मटेरियल वापरून बनवू शकते आणि त्याच्या पृष्ठभागावर ६२%~८२% असलेल्या झिरकोनियमच्या थराने लेपित करू शकते आणि उर्वरित झिरकोनियम-सिलिकॉन मिश्रधातूचे पदार्थ आहेत.
पोस्ट वेळ: एप्रिल-२२-२०२३