रिअॅक्टिव्ह स्पटरिंग कोटिंगची वैशिष्ट्ये आणि अनुप्रयोग

स्पटरिंग कोटिंग प्रक्रियेत, रासायनिक संश्लेषित फिल्म तयार करण्यासाठी संयुगे लक्ष्य म्हणून वापरली जाऊ शकतात. तथापि, लक्ष्य सामग्रीच्या स्पटरिंगनंतर तयार होणारी फिल्मची रचना अनेकदा लक्ष्य सामग्रीच्या मूळ रचनेपासून खूप विचलित होते आणि म्हणूनच मूळ डिझाइनच्या आवश्यकता पूर्ण करत नाही. जर शुद्ध धातूचे लक्ष्य वापरले गेले तर आवश्यक सक्रिय वायू (उदा., ऑक्साईड फिल्म तयार करताना ऑक्सिजन) जाणीवपूर्वक कार्यरत (डिस्चार्ज) वायूमध्ये मिसळला जातो, जेणेकरून ते लक्ष्य सामग्रीसह रासायनिक प्रतिक्रिया देऊन एक पातळ फिल्म तयार करते जी त्याच्या रचना आणि वैशिष्ट्यांच्या बाबतीत नियंत्रित केली जाऊ शकते. या पद्धतीला अनेकदा "प्रतिक्रिया स्पटरिंग" असे संबोधले जाते.

आधी सांगितल्याप्रमाणे, आरएफ स्पटरिंगचा वापर डायलेक्ट्रिक फिल्म्स आणि विविध कंपाऊंड फिल्म्स जमा करण्यासाठी केला जाऊ शकतो. तथापि, "शुद्ध" फिल्म तयार करण्यासाठी, "शुद्ध" लक्ष्य, उच्च-शुद्धता ऑक्साईड, नायट्राइड, कार्बाइड किंवा इतर कंपाऊंड पावडर असणे आवश्यक आहे. या पावडरना विशिष्ट आकाराच्या लक्ष्यात प्रक्रिया करण्यासाठी मोल्डिंग किंवा सिंटरिंगसाठी आवश्यक असलेले अॅडिटीव्ह जोडणे आवश्यक आहे, ज्यामुळे लक्ष्य आणि परिणामी फिल्मच्या शुद्धतेत लक्षणीय घट होते. तथापि, रिअॅक्टिव्ह स्पटरिंगमध्ये, उच्च-शुद्धता धातू आणि उच्च-शुद्धता वायू वापरता येत असल्याने, उच्च-शुद्धता फिल्म्स तयार करण्यासाठी सोयीस्कर परिस्थिती प्रदान केली जाते. अलिकडच्या वर्षांत रिअॅक्टिव्ह स्पटरिंगकडे वाढत्या प्रमाणात लक्ष वेधले गेले आहे आणि विविध कार्यात्मक संयुगांच्या पातळ फिल्म्स अवक्षेपित करण्यासाठी ही एक प्रमुख पद्धत बनली आहे. IV, I- आणि IV-V संयुगे, रेफ्रेक्ट्री सेमीकंडक्टर आणि विविध ऑक्साईड्सच्या निर्मितीमध्ये याचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला गेला आहे, जसे की SiC पातळ फिल्म्सच्या अवक्षेपणाचे चित्रीकरण करण्यासाठी वायूंचे पॉलीक्रिस्टलाइन Si आणि CH./Ar मिश्रण, TiN हार्ड फिल्म्स तयार करण्यासाठी Ti टार्गेट आणि N/Ar, TaO तयार करण्यासाठी Ta आणि O/Ar; -FezO तयार करण्यासाठी डायलेक्ट्रिक पातळ फिल्म्स, Fe आणि O,/Ar; -FezO. रेकॉर्डिंग फिल्म्स, A1 आणि N/Ar सह AIN पायझोइलेक्ट्रिक फिल्म्स, AI आणि CO/Ar सह A1-CO निवडक शोषण फिल्म्स आणि Y-Ba-Cu आणि O/Ar सह YBaCuO- सुपरकंडक्टिंग फिल्म्स, इत्यादी.

- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ