व्हॅक्यूम कॅथोड आर्क आयन कोटिंगचा आढावा

व्हॅक्यूम कॅथोड आर्क आयनcoएटिंगला व्हॅक्यूम आर्क असे संक्षिप्त रूप दिले जाते.coजर दोन किंवा अधिक व्हॅक्यूम आर्क बाष्पीभवन स्रोत (ज्यांना आर्क स्रोत म्हणतात) वापरले गेले तर त्याला मल्टी आर्क आयन म्हणतात.coअ‍ॅटिंग किंवा मल्टी आर्कcoएटिंग. ही एक व्हॅक्यूम आयन कोटिंग तंत्रज्ञान आहे जी बाष्पीभवन स्त्रोतांसाठी व्हॅक्यूम आर्क डिस्चार्ज वापरते. पोकळ कॅथोड डिस्चार्जच्या गरम इलेक्ट्रॉन आर्कच्या विपरीत, त्याचे आर्क स्वरूप थंड कॅथोडच्या पृष्ठभागावर कॅथोड आर्क स्पॉट्सची निर्मिती आहे.

व्हॅक्यूम कॅथोड आर्क आयनची वैशिष्ट्येcoखाणे हे आहेत:

(१) बाष्पीभवन स्रोत हा एक घन कॅथोड लक्ष्य आहे, जो वितळलेल्या पूलची आवश्यकता न पडता कॅथोड लक्ष्य स्त्रोतापासून थेट प्लाझ्मा तयार करतो. एकसमान कोटिंग सुनिश्चित करण्यासाठी आर्क लक्ष्य स्त्रोत कोणत्याही दिशेने आणि अनेक स्त्रोतांमध्ये व्यवस्थित केला जाऊ शकतो.

(२) उपकरणांची रचना तुलनेने सोपी आहे, ज्यामध्ये कार्यरत वायू किंवा सहाय्यक आयनीकरण पद्धतींची आवश्यकता नाही. चाप लक्ष्य स्रोत केवळ कॅथोड सामग्रीसाठी बाष्पीभवन स्रोत नाही तर आयन स्त्रोत देखील आहे; प्रतिक्रियाशील निक्षेपण दरम्यान, केवळ प्रतिक्रियाशील वायू अस्तित्वात असतो आणि वातावरण एका साध्या पूर्ण दाब नियंत्रणाचा वापर करून नियंत्रित केले जाते.

(३) आयनीकरण दर जास्त आहे, साधारणपणे ६०% ~ ८०% पर्यंत पोहोचतो आणि जमा होण्याचा दर जास्त असतो.

(४) आपाती आयन ऊर्जा जास्त असते आणि जमा झालेल्या फिल्मची फिल्म/सब्सट्रेट बाँडिंग फोर्स चांगली असते.

(५) सुरक्षित ऑपरेशनसाठी कमी व्होल्टेज वीज पुरवठा वापरणे.

(६) ते धातूचे चित्रपट, मिश्र धातुचे चित्रपट जमा करू शकते, विविध संयुग चित्रपट (अमोनिया संयुगे, कार्बाइड, ऑक्साईड) प्रतिक्रिया देऊ शकते आणि संश्लेषित करू शकते आणि अगदी DLC चित्रपट, CN चित्रपट इत्यादींचे संश्लेषण देखील करू शकते. त्याचा तोटा असा आहे की निक्षेपण दरम्यान, द्रवाचे लहान थेंब लक्ष्य पृष्ठभागावरून बाहेर पडतात, जे लेपित चित्रपट थरात घनरूप होतात आणि चित्रपट थराची खडबडीतपणा वाढवतात. सध्या, हे सूक्ष्म थेंब कमी करण्यासाठी आणि काढून टाकण्यासाठी अनेक प्रभावी पद्धतींचा अभ्यास केला गेला आहे.

व्हॅक्यूम आर्क आयनcoटूल्स आणि मोल्ड्ससाठी सुपरहार्ड प्रोटेक्टिव्ह कोटिंग्ज कोट करण्यासाठी एटिंग तंत्रज्ञानाचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो. फिल्म सिस्टीममध्ये TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC इत्यादींचा समावेश आहे. कोटिंग उत्पादनांमध्ये टूल्स, मोल्ड्स इत्यादींचा समावेश आहे. अनुकरण सोने आणि रंग सजावटीच्या प्रोटेक्टिव्ह कोटिंग्जच्या बाबतीत, फिल्म सिस्टीममध्ये TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON इत्यादींचा समावेश आहे. कलर फिल्म सिस्टीममध्ये गन ब्लॅक, ब्लॅक, जांभळा, तपकिरी, निळा हिरवा राखाडी इत्यादींचा समावेश आहे.

मल्टी आर्क आयनcoएटिंगमध्ये विस्तृत अनुप्रयोग आणि मजबूत व्यावहारिकता आहे, विशेषतः कटिंग टूल्स, मोल्ड्स आणि स्टेनलेस स्टील प्लेट्स सारख्या सामग्रीच्या पृष्ठभागावर सजावटीच्या आणि पोशाख-प्रतिरोधक हार्ड फिल्म थरांना कोटिंगमध्ये.