Эсэргүүцлийн ууршилтын эх үүсвэрийн бүрэх нь вакуум ууршилтын бүрэх үндсэн арга юм. "Ууршилт" гэдэг нь вакуум камерт бүрэх материалыг халааж, ууршуулж, улмаар материалын атомууд эсвэл молекулууд ууршиж, гадаргуугаас зугтаж, уурын урсгалын үзэгдэл үүсгэж, субстрат эсвэл субстратын гадаргуу дээр бууж, эцэст нь нягт хальс үүсгэдэг нимгэн хальс бэлтгэх аргыг хэлдэг.
Эсэргүүцлийн ууршилтын эх үүсвэр гэж нэрлэгддэг бүрэх арга нь тантал, молибден, вольфрам болон бусад хайлах өндөр температурт металуудыг ашиглан ууршуулах материалаар дүүрсэн ууршилтын эх үүсвэрийг зохих хэлбэрт оруулах, агаарыг нэвтрүүлэх, ууршуулсан материалыг шууд халаах, ууршуулах, эсвэл бусад исэлдүүлэх, исэлдүүлэх, шууд бус халаалт ба ууршилт. Энэ бол эсэргүүцлийн халаалтын ууршилтын арга юм.
Theвакуум ууршилт бүрэх машинЭсэргүүцлийн халаагуураар халааж ууршуулдаг нь энгийн бүтэцтэй, хямд өртөгтэй, найдвартай ашиглах давуу талтай. Энэ нь хайлах температур багатай материалыг ууршилтаар бүрэх, ялангуяа бүрэх чанарт тавигдах шаардлага багатай масс үйлдвэрлэхэд ашиглаж болно. Одоогийн байдлаар хөнгөн цагаан толин тусгал үйлдвэрлэхэд ашигласан халаалт, ууршилтыг эсэргүүцэх олон тооны бүрэх процессууд байсаар байна.
Эсэргүүцлийн ууршилтын эх үүсвэрийн ууршилт бүрэх аргын сул тал нь халаахад хүрч болох хамгийн их температур хязгаарлагдмал, халаагчийн ашиглалтын хугацаа ч богино байдаг. Сүүлийн жилүүдэд ууршилтын эсэргүүцлийн эх үүсвэрийн ашиглалтын хугацааг сайжруулахын тулд тоног төхөөрөмжийн үйлдвэр нь борын нитридээр нийлэгжүүлсэн, удаан эдэлгээтэй цахилгаан дамжуулагч керамик материалыг ууршилтын эх үүсвэр болгон ашиглаж байна. Японы патентын тайланд дурдсанаар бол 20%-30%-ийн борын нитрид болон галд тэсвэртэй материалаас бүрдсэн материалыг ашиглан ууршилтын эх үүсвэр (тигель) хийж, гадаргууг нь 62% ~ 82% агуулсан цирконы давхаргаар бүрхэж, үлдсэн хэсэг нь циркони-цахиурын хайлш юм.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 4-р сарын 22