Вакуум катодын нуман ионcoating гэдэгийг вакуум нуман гэж товчилдогcoидэх. Хоёр ба түүнээс дээш вакуум нумын ууршилтын эх үүсвэрийг (нумын эх үүсвэр гэж нэрлэдэг) ашигладаг бол үүнийг олон нуман ион гэж нэрлэдэг.coидэх эсвэл олон нуманcoидэх. Энэ нь вакуум ион бүрэх технологи бөгөөд ууршилтын эх үүсвэрт вакуум нумын ялгадасыг ашигладаг. Хоосон катодын цэнэгийн халуун электрон нумаас ялгаатай нь түүний нуман хэлбэр нь хүйтэн катодын гадаргуу дээр катодын нумын толбо үүсэх явдал юм.
Вакуум катодын нумын ионы шинж чанаруудcoнь:
(1) Ууршилтын эх үүсвэр нь катодын зорилтот эх үүсвэрээс хайлсан усан сангүйгээр шууд плазм үүсгэдэг хатуу катодын объект юм. Нэг төрлийн бүрээсийг хангахын тулд нумын зорилтот эх үүсвэрийг аль ч чиглэлд, олон эх үүсвэрт байрлуулж болно.
(2) Тоног төхөөрөмжийн бүтэц нь ажлын хий болон нэмэлт ионжуулалтын аргыг ашиглах шаардлагагүй, харьцангуй энгийн. Нумын зорилтот эх үүсвэр нь зөвхөн катодын материалын ууршилтын эх үүсвэр төдийгүй ионы эх үүсвэр юм; Реактив тунадасжилтын үед зөвхөн реактив хий байдаг бөгөөд агаар мандал нь энгийн бүрэн даралтын хяналтыг ашиглан хянагддаг.
(3) Ионжуулалтын түвшин өндөр, ерөнхийдөө 60% ~ 80% хүрч, тунадасжилт өндөр байна.
(4) Ослын ионы энерги өндөр, хадгалсан хальсны хальс/субстратыг холбох хүч сайн байна.
(5) Аюулгүй ажиллагааг хангахын тулд бага хүчдэлийн тэжээл ашиглах.
(6) Металл хальс, хайлш хальс, янз бүрийн нийлмэл хальс (аммиакийн нэгдлүүд, карбид, исэл) -ийг урвалд оруулж, нийлэгжүүлж, бүр DLC хальс, CN хальс гэх мэтийг нэгтгэж чаддаг. Үүний сул тал нь тунадасжуулах явцад зорилтот гадаргуугаас шингэний жижиг дуслууд цацагдаж, хальсан давхаргад өтгөрч, барзгар давхаргыг нэмэгдүүлдэг. Одоогийн байдлаар эдгээр бичил дуслыг багасгах, арилгах олон үр дүнтэй аргуудыг судалж байна.
Вакуум нуман ионcoating технологи нь багаж хэрэгсэл, хэвэнд зориулсан хэт хатуу хамгаалалтын бүрээсийг бүрхэхэд өргөн хэрэглэгддэг. Кино системд TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC гэх мэт. Бүрхүүлгийн бүтээгдэхүүнд багаж хэрэгсэл, хэв гэх мэт орно. Алтны дуураймал болон өнгөт гоёл чимэглэлийн хамгаалалтын бүрхүүлийн хувьд хальсан системд TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ONC, Color film, Zr-ONCr, гэх мэт орно. буу хар, хар, нил ягаан, бор, цэнхэр Ногоон саарал гэх мэт.
Олон нуман ионcoating нь өргөн хүрээний хэрэглээтэй бөгөөд практикт маш сайн байдаг, ялангуяа зүсэх хэрэгсэл, хэв, зэвэрдэггүй ган хавтан зэрэг материалын гадаргуу дээр гоёл чимэглэлийн болон элэгдэлд тэсвэртэй хатуу хальсан давхарга бүрэх.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 8-р сарын 17-ны хооронд