റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന്റെ സവിശേഷതകളും പ്രയോഗങ്ങളും

സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, രാസപരമായി സമന്വയിപ്പിച്ച ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കുന്നതിനുള്ള ലക്ഷ്യങ്ങളായി സംയുക്തങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കാം. എന്നിരുന്നാലും, ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ സ്പട്ടറിംഗ് ചെയ്തതിനുശേഷം സൃഷ്ടിക്കപ്പെടുന്ന ഫിലിമിന്റെ ഘടന പലപ്പോഴും ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിന്റെ യഥാർത്ഥ ഘടനയിൽ നിന്ന് വളരെയധികം വ്യതിചലിക്കുന്നു, അതിനാൽ യഥാർത്ഥ രൂപകൽപ്പനയുടെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നില്ല. ശുദ്ധമായ ഒരു ലോഹ ലക്ഷ്യം ഉപയോഗിക്കുകയാണെങ്കിൽ, ആവശ്യമായ സജീവ വാതകം (ഉദാ. ഓക്സൈഡ് ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കുമ്പോൾ ഓക്സിജൻ) ബോധപൂർവ്വം പ്രവർത്തിക്കുന്ന (ഡിസ്ചാർജ്) വാതകത്തിൽ കലർത്തുന്നു, അങ്ങനെ അത് ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുമായി രാസപരമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് അതിന്റെ ഘടനയും സവിശേഷതകളും അനുസരിച്ച് നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയുന്ന ഒരു നേർത്ത ഫിലിം നിർമ്മിക്കുന്നു. ഈ രീതിയെ പലപ്പോഴും "റിയാക്ഷൻ സ്പട്ടറിംഗ്" എന്ന് വിളിക്കുന്നു.

നേരത്തെ സൂചിപ്പിച്ചതുപോലെ, ഡൈഇലക്ട്രിക് ഫിലിമുകളും വിവിധ സംയുക്ത ഫിലിമുകളും നിക്ഷേപിക്കാൻ RF സ്പട്ടറിംഗ് ഉപയോഗിക്കാം. എന്നിരുന്നാലും, ഒരു "ശുദ്ധമായ" ഫിലിം തയ്യാറാക്കുന്നതിന്, ഒരു "ശുദ്ധമായ" ലക്ഷ്യം, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഓക്സൈഡ്, നൈട്രൈഡ്, കാർബൈഡ് അല്ലെങ്കിൽ മറ്റ് സംയുക്ത പൊടി എന്നിവ ആവശ്യമാണ്. ഈ പൊടികളെ ഒരു പ്രത്യേക ആകൃതിയിലുള്ള ലക്ഷ്യത്തിലേക്ക് സംസ്കരിക്കുന്നതിന് മോൾഡിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ സിന്ററിംഗ് എന്നിവയ്ക്ക് ആവശ്യമായ അഡിറ്റീവുകൾ ചേർക്കേണ്ടതുണ്ട്, ഇത് ലക്ഷ്യത്തിന്റെയും ഫലമായുണ്ടാകുന്ന ഫിലിമിന്റെയും പരിശുദ്ധിയിൽ ഗണ്യമായ കുറവുണ്ടാക്കുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗിൽ, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ലോഹങ്ങളും ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള വാതകങ്ങളും ഉപയോഗിക്കാൻ കഴിയുന്നതിനാൽ, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കുന്നതിന് സൗകര്യപ്രദമായ സാഹചര്യങ്ങൾ നൽകുന്നു. സമീപ വർഷങ്ങളിൽ റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ് കൂടുതൽ ശ്രദ്ധ നേടുകയും വിവിധ പ്രവർത്തന സംയുക്തങ്ങളുടെ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ അവശിഷ്ടമാക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന രീതിയായി മാറുകയും ചെയ്യുന്നു. IV, I-, IV-V സംയുക്തങ്ങൾ, റിഫ്രാക്റ്ററി സെമികണ്ടക്ടറുകൾ, വിവിധതരം ഓക്സൈഡുകൾ എന്നിവയുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിച്ചുവരുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, SiC നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ അവക്ഷിപ്തം ഷൂട്ട് ചെയ്യാൻ പോളിക്രിസ്റ്റലിൻ Si, CH./Ar വാതക മിശ്രിതം, TiN ഹാർഡ് ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കാൻ Ti ടാർഗെറ്റ്, N/Ar എന്നിവ, TaO തയ്യാറാക്കാൻ Ta, O/Ar എന്നിവ; -FezO തയ്യാറാക്കാൻ ഡൈഇലക്ട്രിക് നേർത്ത ഫിലിമുകൾ, Fe, O,/Ar എന്നിവ; -FezO. റെക്കോർഡിംഗ് ഫിലിമുകൾ, A1, N/Ar എന്നിവയുള്ള AIN പീസോഇലക്ട്രിക് ഫിലിമുകൾ, AI, CO/Ar എന്നിവയുള്ള A1-CO സെലക്ടീവ് അബ്സോർപ്ഷൻ ഫിലിമുകൾ, Y-Ba-Cu, O/Ar എന്നിവയുള്ള YBaCuO- സൂപ്പർകണ്ടക്റ്റിംഗ് ഫിലിമുകൾ തുടങ്ങിയവ.

–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ