വാക്വം കാഥോഡ് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെ അവലോകനം

വാക്വം കാഥോഡ് ആർക്ക് അയോൺcoആറ്റിംഗിനെ വാക്വം ആർക്ക് എന്ന് ചുരുക്കി വിളിക്കുന്നു.coരണ്ടോ അതിലധികമോ വാക്വം ആർക്ക് ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സുകൾ (ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകൾ എന്ന് വിളിക്കുന്നു) ഉപയോഗിക്കുകയാണെങ്കിൽ, അതിനെ മൾട്ടി ആർക്ക് അയോൺ എന്ന് വിളിക്കുന്നു.coആറ്റിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ മൾട്ടി ആർക്ക്coating. ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സുകൾക്കായി വാക്വം ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു വാക്വം അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയാണിത്. പൊള്ളയായ കാഥോഡ് ഡിസ്ചാർജിന്റെ ചൂടുള്ള ഇലക്ട്രോൺ ആർക്കിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായി, തണുത്ത കാഥോഡിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ കാഥോഡ് ആർക്ക് പാടുകൾ രൂപപ്പെടുന്നതാണ് ഇതിന്റെ ആർക്ക് രൂപം.

വാക്വം കാഥോഡ് ആർക്ക് അയോണിന്റെ സവിശേഷതകൾcoഇവയാണ്:

(1) ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് ഒരു സോളിഡ് കാഥോഡ് ലക്ഷ്യമാണ്, ഇത് ഉരുകിയ പൂളിന്റെ ആവശ്യമില്ലാതെ കാഥോഡ് ലക്ഷ്യ സ്രോതസ്സിൽ നിന്ന് നേരിട്ട് പ്ലാസ്മ സൃഷ്ടിക്കുന്നു. ഏകീകൃത കോട്ടിംഗ് ഉറപ്പാക്കാൻ ആർക്ക് ലക്ഷ്യ സ്രോതസ്സ് ഏത് ദിശയിലും ഒന്നിലധികം സ്രോതസ്സുകളിലും ക്രമീകരിക്കാം.

(2) ഉപകരണ ഘടന താരതമ്യേന ലളിതമാണ്, പ്രവർത്തന വാതകത്തിന്റെയോ സഹായ അയോണൈസേഷൻ രീതികളുടെയോ ആവശ്യമില്ല. ആർക്ക് ടാർഗെറ്റ് സ്രോതസ്സ് കാഥോഡ് മെറ്റീരിയലിന്റെ ഒരു ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് മാത്രമല്ല, ഒരു അയോൺ സ്രോതസ്സുമാണ്; റിയാക്ടീവ് ഡിപ്പോസിഷൻ സമയത്ത്, റിയാക്ടീവ് വാതകം മാത്രമേ നിലനിൽക്കൂ, കൂടാതെ ലളിതമായ ഒരു പൂർണ്ണ മർദ്ദ നിയന്ത്രണം ഉപയോഗിച്ച് അന്തരീക്ഷം നിയന്ത്രിക്കപ്പെടുന്നു.

(3) അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക് ഉയർന്നതാണ്, സാധാരണയായി 60%~80% വരെ എത്തുന്നു, കൂടാതെ നിക്ഷേപ നിരക്ക് ഉയർന്നതുമാണ്.

(4) ഇൻസിഡന്റ് അയോൺ എനർജി കൂടുതലാണ്, കൂടാതെ ഡിപ്പോസിറ്റ് ചെയ്ത ഫിലിമിന്റെ ഫിലിം/സബ്‌സ്ട്രേറ്റ് ബോണ്ടിംഗ് ഫോഴ്‌സ് നല്ലതാണ്.

(5) സുരക്ഷിതമായ പ്രവർത്തനത്തിനായി കുറഞ്ഞ വോൾട്ടേജ് വൈദ്യുതി വിതരണം ഉപയോഗിക്കുക.

(6) ഇതിന് ലോഹ ഫിലിമുകൾ, അലോയ് ഫിലിമുകൾ എന്നിവ നിക്ഷേപിക്കാനും, വിവിധ സംയുക്ത ഫിലിമുകൾ (അമോണിയ സംയുക്തങ്ങൾ, കാർബൈഡുകൾ, ഓക്സൈഡുകൾ) പ്രതിപ്രവർത്തിക്കാനും സമന്വയിപ്പിക്കാനും കഴിയും, കൂടാതെ DLC ഫിലിമുകൾ, CN ഫിലിമുകൾ മുതലായവ പോലും സമന്വയിപ്പിക്കാനും കഴിയും. നിക്ഷേപിക്കുമ്പോൾ, ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിൽ നിന്ന് ചെറിയ ദ്രാവക തുള്ളികൾ തെറിച്ചുവീഴുന്നു, ഇത് പൂശിയ ഫിലിം പാളിയിൽ ഘനീഭവിക്കുകയും ഫിലിം പാളിയുടെ പരുക്കൻത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു എന്നതാണ് ഇതിന്റെ പോരായ്മ. നിലവിൽ, ഈ സൂക്ഷ്മ തുള്ളികൾ കുറയ്ക്കുന്നതിനും ഇല്ലാതാക്കുന്നതിനും നിരവധി ഫലപ്രദമായ രീതികൾ പഠിച്ചിട്ടുണ്ട്.

വാക്വം ആർക്ക് അയോൺcoഉപകരണങ്ങൾക്കും അച്ചുകൾക്കും വേണ്ടിയുള്ള സൂപ്പർഹാർഡ് പ്രൊട്ടക്റ്റീവ് കോട്ടിംഗുകൾ പൂശാൻ ATING സാങ്കേതികവിദ്യ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിച്ചുവരുന്നു. ഫിലിം സിസ്റ്റങ്ങളിൽ TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു. കോട്ടിംഗ് ഉൽപ്പന്നങ്ങളിൽ ഉപകരണങ്ങൾ, അച്ചുകൾ മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു. അനുകരണ സ്വർണ്ണത്തിന്റെയും വർണ്ണ അലങ്കാര സംരക്ഷണ കോട്ടിംഗുകളുടെയും കാര്യത്തിൽ, ഫിലിം സിസ്റ്റങ്ങളിൽ TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു. കളർ ഫിലിം സിസ്റ്റങ്ങളിൽ ഗൺ ബ്ലാക്ക്, കറുപ്പ്, പർപ്പിൾ, തവിട്ട്, നീല പച്ച ചാരനിറം മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു.

മൾട്ടി ആർക്ക് അയോൺcoകട്ടിംഗ് ടൂളുകൾ, മോൾഡുകൾ, സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ പ്ലേറ്റുകൾ തുടങ്ങിയ വസ്തുക്കളുടെ പ്രതലങ്ങളിൽ അലങ്കാര, വസ്ത്രം പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള ഹാർഡ് ഫിലിം പാളികൾ പൂശുന്നതിൽ, പ്രത്യേകിച്ച് ആറ്റിംഗിന് വിപുലമായ ആപ്ലിക്കേഷനുകളും ശക്തമായ പ്രായോഗികതയുമുണ്ട്.