I roto i te tukanga paninga sputtering, ka taea te whakamahi i nga pūhui hei whaainga mo te whakarite i nga kiriata whakahiato matū. Heoi, ko te hanganga o te kiriata i hangaia i muri i te pupuhi o te rauemi i whaaia he maha nga wa ka rere ke atu i te hanganga taketake o te mea i whaaia, na reira kaore e tutuki nga whakaritenga o te hoahoa taketake. Mēnā ka whakamahia he taumata whakarewa parakore, ko te hau hohe e hiahiatia ana (hei tauira, te hāora i te wa e whakareri ana i nga kiriata waikura) ka whakauruhia ki roto i te hau mahi (whakarerenga), kia tauhohe matū ki te mea i whäia ki te whakaputa i te kiriata kikokore ka taea te whakahaere i runga i te hanganga me ona ahuatanga. Ko tenei tikanga e kiia ana ko te "reaction sputtering".
Ka rite ki te korero i mua ake nei, ka taea te whakamahi RF sputtering ki te whakatakoto i nga kiriata dielectric me nga momo kiriata pūhui. Engari, hei whakarite i te kiriata "parakore", he mea tika ki te whai i te kaupapa "parakore", he waikura teitei, he nitride, he carbide, tetahi atu paura puhui ranei. Ko te tukatuka i enei paura ki roto i te whainga o tetahi ahua me taapiri atu nga taapiri e tika ana mo te whakakoi, te whakahiato ranei, ka puta he whakahekenga nui o te ma o te whaainga me te kiriata ka puta. I roto i te reactive sputtering, heoi, i te mea ka taea te whakamahi i nga konganuku parakore me nga hau parakore teitei, ka whakaratohia nga tikanga pai mo te whakarite i nga kiriata parakore teitei. Kua kaha ake te aro o te pupuhi tauhohenga i roto i nga tau tata nei, a kua noho hei tikanga nui mo te whakaheke i nga kiriata angiangi o nga momo puhui mahi. Kua whakamahia nuitia i roto i te hanga o IV, I- me IV-V pūhui, Semiconductors refractory, me te momo o waikura, pērā i te whakamahi o polycrystalline Si me CH./Ar ranunga hau ki te pupuhi i te rerenga o SiC kiriata kikokore, Ti ūnga me N/Ar ki te whakarite TiN kiriata pakeke, Ta me O/Ar ki te whakarite TaO; kiriata angiangi dielectric, Fe me O,/Ar hei whakarite -FezO; -FezO. nga kiriata tuhi, nga kiriata piezoelectric AIN me te A1 me te N / Ar, nga kiriata whakauru whiriwhiri A1-CO me AI me CO / Ar, me nga kiriata YBaCuO-superconducting me Y-Ba-Cu me O / Ar, me etahi atu.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Hanuere-18-2024