Ao amin'ny dingan'ny fametahana sputtering dia azo ampiasaina ho lasibatra amin'ny fanomanana sarimihetsika vita amin'ny simika simika. Na izany aza, ny firafitry ny sarimihetsika novokarina taorian'ny sputtering ny fitaovana kendrena matetika dia mivaona be amin'ny tany am-boalohany ny zavatra kendrena, ary noho izany dia tsy mahafeno ny fepetra ny tany am-boalohany. Raha lasibatra metaly madio no ampiasaina, ny entona mavitrika ilaina (ohatra, oksizenina rehefa manomana sarimihetsika oksizenina) dia afangaro amin'ny entona miasa (famoahana), mba hihetsika amin'ny zavatra simika amin'ny akora kendrena mba hamokarana sarimihetsika manify izay azo fehezina amin'ny endriny sy ny toetrany. Ity fomba ity dia matetika antsoina hoe "reaction sputtering".
Araka ny voalaza teo aloha, ny RF sputtering dia azo ampiasaina hametrahana sarimihetsika dielectric sy sarimihetsika mifangaro isan-karazany. Na izany aza, mba hanomanana sarimihetsika "madio" dia ilaina ny manana tanjona "madio", oksidena madio, nitride, carbide, na vovobony hafa. Ny fanodinana ireo vovoka ireo ho lasibatra amin'ny endrika iray dia mitaky fanampim-panampiana ilaina amin'ny famolahana na sintering, izay miteraka fihenam-bidy lehibe amin'ny fahadiovan'ny lasibatra sy ny sarimihetsika vokarina. Ao amin'ny reactive sputtering, na izany aza, satria azo ampiasaina ny metaly madio sy ny entona madio tsara, dia omena fepetra mety amin'ny fanomanana ny sarimihetsika madio. Nitombo ny sain'ny olona tato anatin'ny taona vitsivitsy ny sputtering reactive ary lasa fomba lehibe amin'ny fandrotsahana sarimihetsika manify amin'ny fitambaran-javatra isan-karazany. Izany no be mpampiasa amin'ny fanamboarana ny IV, I- sy IV-V kamban-teny, refractory semiconductor, ary isan-karazany ny oxides, toy ny fampiasana polycrystalline Si sy CH./Ar mifangaro entona mba hitifitra ny rotsak'orana ny SiC sarimihetsika manify, Ti kendrena sy N/Ar hanomanana TiN sarimihetsika mafy, Ta sy O/Ar hanomanana TaO; sarimihetsika manify dielectric, Fe sy O,/Ar hanomanana -FezO; -FezO. horonan-tsary firaketana, sarimihetsika piezoelectric AIN miaraka amin'ny A1 sy N/Ar, horonan-tsarimihetsika mifantina A1-CO miaraka amin'ny AI sy CO/Ar, ary sarimihetsika YBaCuO-superconducting miaraka amin'ny Y-Ba-Cu sy O/Ar, ankoatra ny hafa.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Jan-18-2024