Vacuum cathode arc ioncoatao hoe vacuum arc ny atingcoantsika. Raha misy loharanon'ny evaporation arc roa na maromaro (antsoina hoe loharano arc) dia antsoina hoe multi arc ion izany.coarc na multi arccoantsika. Izy io dia teknôlôjia fametahana ion vacuum izay mampiasa fivoahana arc vacuum ho an'ny loharano etona. Tsy toy ny arc electron mafana amin'ny fivoahan'ny cathode hollow, ny endrika arc dia ny fiforonan'ny teboka arc cathode eo ambonin'ny cathode mangatsiaka.
Ny toetra mampiavaka ny vacuum cathode arc ioncoireo dia:
(1) Ny loharanon'ny evaporation dia lasibatra cathode mafy, izay miteraka mivantana ny plasma avy amin'ny loharano kendrena cathode tsy mila dobo miendrika. Ny loharano kendrena arc dia azo alamina amin'ny lalana rehetra sy loharano maro mba hiantohana ny fanamiana coating.
(2) Ny firafitry ny fitaovana dia somary tsotra, tsy mila miasa entona na fanampiny ionization fomba. Ny loharano kendrena arc dia tsy loharano etona fotsiny ho an'ny akora cathode, fa loharano ion ihany koa; Mandritra ny deposition reactive, ny entona mihetsiketsika ihany no misy, ary ny atmosfera dia fehezina amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso fanerena tsotra.
(3) Ny tahan'ny ionization dia avo, amin'ny ankapobeny mahatratra 60% ~ 80%, ary ny tahan'ny deposition dia avo.
(4) Ny angovo ion zava-nitranga dia ambony, ary tsara ny hery fatorana sarimihetsika / substrate amin'ny sarimihetsika napetraka.
(5) Mampiasa famatsiana herinaratra malefaka ho an'ny asa azo antoka.
(6) Izy io dia afaka mametraka sarimihetsika metaly, sarimihetsika firaka, mihetsika ary mampifanaraka ireo sarimihetsika mifangaro isan-karazany (amoniaka, karbida, oksida), ary na dia mampifanaraka ny sarimihetsika DLC, sarimihetsika CN, sns. Amin'izao fotoana izao dia fomba mahomby maro no nodinihina mba hampihenana sy hanafoanana ireo tsimokaretina micro ireo.
Vacuum arc ioncoNy teknôlôjia dia efa nampiasaina betsaka mba hametahana coatings fiarovana superhard ho an'ny fitaovana sy lasitra. Ny rafitra sarimihetsika dia ahitana ny TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, sns. Ny vokatra vita amin'ny coating dia misy fitaovana, bobongolo, sns. Amin'ny resaka volamena sy loko miloko fiarovana fiarovana, ny rafitra sarimihetsika dia ahitana ny TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, sarimihetsika mainty, basy mainty sns. volontany, manga maitso maitso, sns.
Multi arc ioncoNy ating dia manana fampiharana isan-karazany sy azo ampiharina matanjaka, indrindra amin'ny fametahana ireo sosona sarimihetsika mafy haingon-trano sy mahatohitra amin'ny tampon'ny fitaovana toy ny fitaovana fanapahana, lasitra, ary takelaka vy tsy misy pentina.
Fotoana fandefasana: Aug-17-2023