Kas ir pretestības iztvaikošanas avota pārklājums?

Pretestības iztvaikošanas avota pārklājums ir pamata vakuuma iztvaikošanas pārklāšanas metode. “Iztvaikošana” attiecas uz plānas plēves sagatavošanas metodi, kurā pārklājuma materiāls vakuuma kamerā tiek uzkarsēts un iztvaikots, lai materiāla atomi vai molekulas iztvaikotu un izkļūtu no virsmas, veidojot tvaika plūsmas fenomenu, kas nonāk uz substrāta vai substrāta virsmas un visbeidzot kondensējas, veidojot cietu plēvi.

Tā sauktā pretestības iztvaikošanas avota pārklāšanas metode ir izmantot tantalu, molibdēnu, volframu un citus augstas kušanas temperatūras metālus, lai izveidotu atbilstošas ​​formas iztvaikošanas avotu, kas ir piepildīts ar iztvaicējamiem materiāliem, ļauts gaisam plūst cauri, tieši uzkarsēts un iztvaicēts iztvaicēts materiāls vai ievietots iztvaicējamos materiālos alumīnija oksīdā, berilija oksīdā un citos tīģeļos netiešai karsēšanai un iztvaicēšanai. Šī ir pretestības karsēšanas iztvaikošanas metode.

Thevakuuma iztvaikošanas pārklāšanas mašīnaPretestības sildītāja karsēšanai un iztvaicēšanai ir vienkāršas konstrukcijas, zemas izmaksas un uzticama lietošana. To var izmantot materiālu ar zemu kušanas temperatūru iztvaicēšanas pārklāšanai, īpaši masveida ražošanā ar zemām pārklājuma kvalitātes prasībām. Līdz šim alumīnija spoguļu ražošanā joprojām tiek izmantots liels skaits pretestības sildīšanas un iztvaicēšanas pārklāšanas procesu.

Pretestības iztvaikošanas avota iztvaikošanas pārklāšanas metodes trūkumi ir ierobežota maksimālā temperatūra, ko var sasniegt, karsējot, un arī sildītāja kalpošanas laiks ir īss. Pēdējos gados, lai uzlabotu pretestības iztvaikošanas avota kalpošanas laiku, iekārtu rūpnīca kā iztvaikošanas avotu ir pieņēmusi bora nitrīda sintezētu vadošu keramikas materiālu ar ilgu kalpošanas laiku. Saskaņā ar Japānas patenta ziņojumu, iztvaikošanas avota (tīģeļa) izgatavošanai var izmantot materiālus, kas sastāv no 20% ~ 30% bora nitrīda un ugunsizturīgiem materiāliem, kurus var ar to sakausēt, un pārklāt tā virsmu ar cirkonija slāni, kas satur 62% ~ 82%, bet pārējais ir cirkonija-silīcija sakausējuma materiāli.