Vakuuma katoda loka jonscoating tiek saīsināti kā vakuuma lokscoJa tiek izmantoti divi vai vairāki vakuuma loka iztvaikošanas avoti (saukti par loka avotiem), to sauc par vairāku loku jonu iztvaikošanu.coējoša vai vairāku lokucoTā ir vakuuma jonu pārklāšanas tehnoloģija, kurā iztvaikošanas avotiem tiek izmantota vakuuma loka izlāde. Atšķirībā no dobā katoda izlādes karstā elektronu loka, tās loka forma ir katoda loka plankumu veidošanās uz aukstā katoda virsmas.
Vakuuma katoda loka jonu raksturlielumicoating ir:
(1) Iztvaikošanas avots ir ciets katoda mērķis, kas tieši ģenerē plazmu no katoda mērķa avota, neizmantojot izkausētu vannu. Loka mērķa avotu var izvietot jebkurā virzienā un izmantot vairākus avotus, lai nodrošinātu vienmērīgu pārklājumu.
(2) Iekārtas struktūra ir samērā vienkārša, bez nepieciešamības pēc darba gāzes vai palīgjonizācijas metodēm. Loka mērķa avots ir ne tikai katoda materiāla iztvaikošanas avots, bet arī jonu avots; Reaktīvās nogulsnēšanas laikā pastāv tikai reaktīvā gāze, un atmosfēru kontrolē, izmantojot vienkāršu pilna spiediena kontroli.
(3) Jonizācijas ātrums ir augsts, parasti sasniedzot 60% ~ 80%, un nogulsnēšanās ātrums ir augsts.
(4) Ienākošā jonu enerģija ir augsta, un nogulsnētās plēves/substrāta saistīšanas spēks ir labs.
(5) Drošai darbībai izmantojiet zemsprieguma barošanas avotu.
(6) Ar to var nogulsnēt metāla plēves, sakausējumu plēves, reaģēt un sintezēt dažādas savienojumu plēves (amonjaka savienojumus, karbīdus, oksīdus) un pat sintezēt DLC plēves, CN plēves utt. Tās trūkums ir tāds, ka nogulsnēšanas laikā no mērķa virsmas tiek izšļakstīti sīki šķidruma pilieni, kas kondensējas pārklātajā plēves slānī un palielina plēves slāņa raupjumu. Pašlaik ir pētītas daudzas efektīvas metodes, lai samazinātu un novērstu šos mikropilienus.
Vakuuma loka jonscoŠī tehnoloģija ir plaši izmantota, lai pārklātu īpaši cietus aizsargpārklājumus instrumentiem un veidnēm. Plēvju sistēmas ietver TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC utt. Pārklājuma produkti ietver instrumentus, veidnes utt. Runājot par zelta imitāciju un krāsainiem dekoratīviem aizsargpārklājumiem, plēvju sistēmas ietver TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON utt. Krāsu plēvju sistēmas ietver melnu, melnu, violetu, brūnu, zilu, zaļu, pelēku utt.
Daudzloka jonscoPlēvei ir plašs pielietojumu klāsts un spēcīga praktiskums, īpaši dekoratīvu un nodilumizturīgu cieto plēves slāņu pārklāšanā uz tādu materiālu virsmām kā griezējinstrumenti, veidnes un nerūsējošā tērauda plāksnes.
Publicēšanas laiks: 2023. gada 17. augusts