Vakuuminio katodo lanko jonųcoating yra sutrumpintai vadinamas vakuuminiu lankucoJei naudojami du ar daugiau vakuuminio lanko garinimo šaltinių (vadinami lanko šaltiniais), tai vadinama daugialankiu jonizavimu.covingimas arba daugialankiscoTai vakuuminio jonų dengimo technologija, kuri naudoja vakuuminį lanko išlydį garinimo šaltiniams. Skirtingai nuo tuščiavidurio katodo išlydžio karštojo elektronų lanko, jo lanko forma yra katodo lanko dėmių susidarymas ant šaltojo katodo paviršiaus.
Vakuuminio katodo lanko jonų charakteristikoscoyra:
(1) Garavimo šaltinis yra kietas katodo taikinys, kuris tiesiogiai generuoja plazmą iš katodo taikinio šaltinio, nereikalaujant išlydyto metalo. Lanko taikinio šaltinis gali būti išdėstytas bet kuria kryptimi ir turėti kelis šaltinius, kad būtų užtikrintas vienodas padengimas.
(2) Įrangos konstrukcija yra gana paprasta, nereikia darbinių dujų ar pagalbinių jonizacijos metodų. Lanko taikinio šaltinis yra ne tik katodo medžiagos garinimo šaltinis, bet ir jonų šaltinis; Reaktyviojo nusodinimo metu egzistuoja tik reaktyviosios dujos, o atmosfera kontroliuojama naudojant paprastą pilno slėgio valdymą.
(3) Jonizacijos greitis yra didelis, paprastai siekia 60–80 %, o nusėdimo greitis yra didelis.
(4) Krintančios jonų energijos lygis yra didelis, o nusodintos plėvelės ir pagrindo sukibimo jėga yra gera.
(5) Saugiam veikimui naudoti žemos įtampos maitinimo šaltinį.
(6) Juo galima nusodinti metalines plėveles, lydinių plėveles, reaguoti ir sintetinti įvairias sudėtines plėveles (amoniako junginius, karbidus, oksidus) ir netgi sintetinti DLC plėveles, CN plėveles ir kt. Jo trūkumas yra tas, kad nusodinimo metu nuo taikinio paviršiaus taškosi mažyčiai skysčio lašeliai, kurie kondensuojasi padengtame plėvelės sluoksnyje ir padidina plėvelės sluoksnio šiurkštumą. Šiuo metu ištirta daug veiksmingų metodų, kaip sumažinti ir pašalinti šiuos mikro lašelius.
Vakuuminis lanko jonascoŠi technologija buvo plačiai naudojama dengiant itin kietas apsaugines įrankių ir formų dangas. Plėvelių sistemos apima TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC ir kt. Dengimo produktai apima įrankius, formas ir kt. Kalbant apie aukso imitacijos ir spalvotas dekoratyvines apsaugines dangas, plėvelių sistemos apima TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON ir kt. Spalvotų plėvelių sistemos apima juodą, juodą, violetinę, rudą, mėlyną, žalią, pilką ir kt.
Daugiakampis jonascoDanga turi platų pritaikymo spektrą ir yra labai praktiška, ypač dengiant dekoratyvinius ir atsparius dilimui kietos plėvelės sluoksnius ant tokių medžiagų kaip pjovimo įrankiai, liejimo formos ir nerūdijančio plieno plokštės paviršių.
Įrašo laikas: 2023 m. rugpjūčio 17 d.